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公开(公告)号:CN111373148A
公开(公告)日:2020-07-03
申请号:CN201880071800.9
申请日:2018-11-26
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明的一形态的真空发生装置,具有壳体、真空泵、蓄电池。上述壳体具有顶面部和底面部,上述顶面部具有配管终端器和把手部,上述配管终端器能够与吸引器械连接。上述真空泵被收纳在上述壳体中,且被设置在上述底面部,具有相对于上述配管终端器并联连接的第一泵室以及第二泵室。上述蓄电池,被收纳在上述壳体中,并向上述真空泵供给电力。
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