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公开(公告)号:CN102678560B
公开(公告)日:2015-03-04
申请号:CN201210073014.7
申请日:2012-03-19
Applicant: ULVAC机工株式会社
IPC: F04C25/02 , F04C18/344
Abstract: 本发明提供一种可以减少由泵室内的润滑油引起的异常声响或振动的油旋转真空泵。其中,第二泵室P2的内周面N2上,具有形成为与第一曲面部C1连接的第二曲面部C2。第二曲面部C2例如是具有与转子42的外周面相等曲率半径的曲面。由此,叶片52在内周面N2上旋转并通过第二排气端口E2时,叶片52将泵油刮去,但区域S1作为容纳泵油的缓冲部发挥作用,缓和泵油由于接触第一曲面部C1与转子42之间的油膜所产生的冲击。进而,由于泵油在区域S1内不易引起急剧升压,因此可以缓和对叶片52的冲击,还可以抑制叶片52挤入转子42内时的异常声响或振动。
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公开(公告)号:CN102654126A
公开(公告)日:2012-09-05
申请号:CN201210053044.1
申请日:2012-03-02
Applicant: ULVAC机工株式会社
IPC: F04C18/344 , F04C29/02 , F04C29/00
Abstract: 本发明提供了一种不使用自我润滑性高的固体润滑材料而确保轴承部润滑性的油旋转真空泵。油旋转真空泵具有主体、气缸座、旋转件、驱动部和滑动轴承。主体具有存储泵油的油箱部。气缸座具有泵腔及润滑线,润滑线使泵油在油箱部与泵腔之间连通。旋转件可旋转地配置在泵腔中,并具有在泵腔的内表面上滑动的滑动部。驱动部安装在主体上并具有使旋转件旋转的旋转轴。滑动轴承设置在气缸座上,并可旋转地支撑旋转轴。滑动轴承具有与润滑线连通的通道。
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公开(公告)号:CN102678560A
公开(公告)日:2012-09-19
申请号:CN201210073014.7
申请日:2012-03-19
Applicant: ULVAC机工株式会社
IPC: F04C25/02 , F04C18/344
Abstract: 本发明提供一种可以减少由泵室内的润滑油引起的异常声响或振动的油旋转真空泵。其中,第二泵室P2的内周面N2上,具有形成为与第一曲面部C1连接的第二曲面部C2。第二曲面部C2例如是具有与转子42的外周面相等曲率半径的曲面。由此,叶片52在内周面N2上旋转并通过第二排气端口E2时,叶片52将泵油刮去,但区域S1作为容纳泵油的缓冲部发挥作用,缓和泵油由于接触第一曲面部C1与转子42之间的油膜所产生的冲击。进而,由于泵油在区域S1内不易引起急剧升压,因此可以缓和对叶片52的冲击,还可以抑制叶片52挤入转子42内时的异常声响或振动。
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公开(公告)号:CN102654126B
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201210053044.1
申请日:2012-03-02
Applicant: ULVAC机工株式会社
IPC: F04C18/344 , F04C29/02 , F04C29/00
Abstract: 本发明提供了一种不使用自我润滑性高的固体润滑材料而确保轴承部润滑性的油旋转真空泵。油旋转真空泵具有主体、气缸座、旋转件、驱动部和滑动轴承。主体具有存储泵油的油箱部。气缸座具有泵腔及润滑线,润滑线使泵油在油箱部与泵腔之间连通。旋转件可旋转地配置在泵腔中,并具有在泵腔的内表面上滑动的滑动部。驱动部安装在主体上并具有使旋转件旋转的旋转轴。滑动轴承设置在气缸座上,并可旋转地支撑旋转轴。滑动轴承具有与润滑线连通的通道。
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公开(公告)号:CN301452052S
公开(公告)日:2011-01-26
申请号:CN201030166639.X
申请日:2010-04-29
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 1.本申请外观设计产品为真空泵,用于在分析设备、半导体制造设备等中形成真空;2.本申请外观设计的要点在于图中所示的形状和构造;3.本申请包括两项外观设计,其中设计1为基本设计;4.设计1的立体图为代表图;5.设计1的立体图和设计2的立体图中的A部为透明。
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公开(公告)号:CN301641341S
公开(公告)日:2011-08-10
申请号:CN201030166603.1
申请日:2010-04-29
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 1.本申请外观设计产品为真空泵,用于在分析设备、半导体制造设备等中形成真空;2.本申请外观设计的要点在于图中所示的形状和构造;3.本申请包括两项外观设计,其中设计1为基本设计;4.设计1立体图为代表图。5.设计1立体图和设计2立体图中的A部为透明。
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公开(公告)号:CN301452051S
公开(公告)日:2011-01-26
申请号:CN201030166630.9
申请日:2010-04-29
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 1.本外观设计涉及真空泵,其用于在分析仪表、半导体制造设备等中产生真空。2.本外观设计的设计要点在于图片所示的形状和构造。3.立体图为本外观设计的代表图。4.立体图中的A部分是透明的。
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公开(公告)号:CN301659945S
公开(公告)日:2011-08-31
申请号:CN201130021191.7
申请日:2011-02-11
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 1.产品名称:真空泵。2.用途:可用作物理化学实验器械、分析器械、激光应用器械、电子显微镜、半导体制造装置、溅射装置、真空镀气装置、真空干燥机、冻结干燥机等器械的真空排气装置。3.设计要点:整体形状。4.代表图:立体图。
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公开(公告)号:CN301659946S
公开(公告)日:2011-08-31
申请号:CN201130021192.1
申请日:2011-02-11
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 1.产品名称:真空泵。2.用途:可用作物理化学实验器械、分析器械、激光应用器械、电子显微镜、半导体制造装置、溅射装置、真空镀气装置、真空干燥机、冻结干燥机等器械的真空排气装置。3.设计要点:整体形状。4.代表图:立体图。
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