薄膜的成膜方法和成膜装置

    公开(公告)号:CN105307784B

    公开(公告)日:2018-01-16

    申请号:CN201580000240.4

    申请日:2015-05-01

    Abstract: 本发明提供一种以低成本成膜出具备耐久性的薄膜的方法。该成膜方法使用成膜装置(1)。该装置(1)包括:基板(100)配置于内部下方的真空容器(11)、对该容器(11)内进行排气的真空泵(15)、设置于容器(11)外部且储藏成膜剂溶液(21)的储藏容器(23)、一端具有成为可排出成膜剂溶液(21)的排出部(19)的喷嘴(17)、加压储藏容器(23)内所储藏的成膜剂溶液(21)的液面的加压单元(气体供给源(29)等)。使用由2种以上材料构成的溶液作为成膜剂溶液(21),所述溶液包含第1材料(S1)和具有高于该S1的蒸汽压(P1)的蒸汽压(P2)的第2材料(S2),且第1材料的浓度为0.01重量%以上。对于该成膜剂溶液(21),在P2以上的压力(其中,不包括高于P2一个数量级以上的压力)的气氛下,以0.05~0.3MPa的排出压将其排出至基板上。

    一种节能型喷射设备
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106493030A

    公开(公告)日:2017-03-15

    申请号:CN201510558806.7

    申请日:2015-09-06

    Inventor: 张永伟

    CPC classification number: B05B17/04

    Abstract: 本发明公开了一种节能型喷射设备,它涉及一种雾化喷射设备。包括蒸汽流设备(1)、蒸汽管装置(5),蒸汽流设备(1)通过蒸汽管(2)与引射喷射器(4)相连,引射喷射器(4)一端与减温水装置(5),引射喷射器(4)另一端与螺旋雾化喷嘴(3)相连,螺旋雾化喷嘴(3)与蒸汽流设备(1)相连。本发明结构简单,使用方便,雾化效果好,实用性强。(2)、螺旋雾化喷嘴(3)、引射喷射器(4)和减温水

    多通道电流体喷射扫描系统

    公开(公告)号:CN106423696A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201610808461.0

    申请日:2016-09-07

    CPC classification number: B05B17/04 B05B15/62

    Abstract: 本发明公开了一种多通道电流体喷射扫描系统,包括机台扫描移动装置和喷枪固定与切换系统。机台可以在x和y方向移动,机台和喷枪间距可以手动调节。该喷枪固定与切换系统包括旋转支架、喷嘴支架以及微注射头,旋转支架安装于固定装置上,喷嘴支架安装于旋转支架上,微注射头与喷嘴支架连接。其中,在旋转支架的外周安装多个喷嘴支架或在喷嘴支架上安装多个微注射头,从而实现在同一位置喷射不同液体。本发明的多通道电流体喷射扫描系统采用多通道电流体喷射扫描技术,制样速率和样品容量均比传统压电控制喷射仪器高1-2个数量级,最小特征样品尺寸可低至亚微米,实现真正意义上微纳米器件级别的“组合芯片”。

    涂覆玻璃基板的设备及方法

    公开(公告)号:CN102947010B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201080067579.3

    申请日:2010-06-21

    Abstract: 本发明涉及使用一种或多种液态原材料涂覆基板(15)的设备和方法,包括:至少一个雾化器(2),用于将一种或多种液态原材料雾化成微滴(3);充电部件(4;32),用于在雾化期间或雾化之后对微滴(3)电性充电;以及沉积腔室(16),在所述沉积腔室(16)中微滴(3)沉积在基板(15)上,沉积腔室(16)设置有一个或多个电场,用于将电性充电的微滴(3)引导到基板(15)上。根据本发明,设置有这样的充电腔室(1),所述充电腔室布置在所述沉积腔室(16)的上游,并且设置有用于对该微滴(3)电性充电的充电部件(4)。

    一种废液雾化器
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105013656A

    公开(公告)日:2015-11-04

    申请号:CN201510485032.X

    申请日:2015-08-10

    Inventor: 黄香胡

    CPC classification number: B05B17/04

    Abstract: 本发明属于废液处理设备技术领域,具体涉及一种废液雾化器。包括雾化器本体,在雾化器本体一端设置进料口,另一端设置喷嘴,在所述的进料口包括上挡板和下挡板,在上挡板和下挡板内均设置加热器,在加热器一侧设置温度感应器,在所述的上挡板上端设置两个凹槽,在凹槽上端设置与凹槽形状相吻合的卡块,卡块的上端超出上挡板的上端,在卡块与上挡板之间设置过滤网,在下挡板上设置凹孔,过滤网下端设置在凹孔内,在雾化器本体下端设置压缩空气进孔,在上端设置压缩空气出孔。在进料口上的加热器将进入的废液进行加热,通过温度感应器设定温度使其不能超过指定温度,并且根据废液内的成分将其中的可分解的物质通过加热使其分解,废液内的颗粒通过过滤网将此阻隔在雾化器本体外。

    高压静电水雾发生装置

    公开(公告)号:CN104741278A

    公开(公告)日:2015-07-01

    申请号:CN201510158478.1

    申请日:2015-04-07

    Applicant: 王浦林

    CPC classification number: B05B17/04

    Abstract: 本发明公开并提供了一种不会产生有害气体、对环境无污染、使用方便而且净化效率高的高压静电水雾发生装置。该高压静电水雾发生装置包括集尘套管(1)、设置在所述集尘套管(1)外壁上的冷凝装置、位于所述集尘套管(1)内的微孔陶瓷管(2)、与所述微孔陶瓷管(2)相连的自动补水装置(3)、设置在所述微孔陶瓷管(2)中间空腔内的导线(4)和与所述导线(4)相连接的高压静电发生器(5),所述集尘套管(1)接地或者联接与微孔陶瓷管电荷相反的电极。本发明可广泛应用于空气净化除尘领域。

    一种超重力冷气机
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104534596A

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201410845426.7

    申请日:2014-12-31

    CPC classification number: F24F5/0035 B05B17/04

    Abstract: 本发明公开了一种超重力冷气机,包括上端具有开口的热交换桶,热交换桶上安装有进风装置、冷却风出风装置和冷却液进液装置,所述热交换桶内安装有可将冷却液进液装置输送的冷却液进行离散、雾化的超重力冷却液雾化装置,本发明采用上述方案,利用超重力雾化装置将冷却液剪切分散形成高速度运动液雾,与热交换桶和进风装置产生的逆流螺旋运动的空气直接接触独特流动行为,通过强化冷却液与空气传热面积、增大相对速度、增加相互接触次数,实现了冷却液与空气高效热质交换。

    高速燃气-电弧复合热喷涂方法及其使用的喷枪

    公开(公告)号:CN104498862A

    公开(公告)日:2015-04-08

    申请号:CN201510001740.1

    申请日:2015-01-04

    CPC classification number: C23C4/12 B05B17/04

    Abstract: 本发明公开了一种高速燃气-电弧复合热喷涂方法及其使用的喷枪。热喷涂方法包括步骤:借由空气等离子体点火方式引燃煤油与压缩空气掺混得到的环状高速喷射油气混合流;使油气混合流持续充分燃烧并加速,形成超音速燃气后向丝材喷射;丝材通电起弧熔化,并在超音速燃气射流作用下被雾化和加速,沉积在待喷涂部件表面上形成涂层。基于本发明热喷涂方法,引弧熔化的丝材在压缩空气助燃煤油形成的低氧气含量的超音速燃气作用下,可对待喷涂部件表面可实现高效喷涂,所得的喷涂层质量良好。

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