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公开(公告)号:CN101827662B
公开(公告)日:2014-12-31
申请号:CN200880111705.3
申请日:2008-09-03
Applicant: 比利时电子分拣技术股份有限公司
Inventor: P·博格曼斯
CPC classification number: B07C5/342 , G01N21/85 , G01N21/8901 , G01N2021/8592 , G01N2201/1042
Abstract: 本发明涉及包括宽带光学光源和分拣装置的系统,具体说,是涉及激光器分拣装置。本发明的目的是提供一种包括分拣装置的系统,该分拣装置有提供用于分拣处理的所有波长的光源。这是通过使用一种全光纤超连续光谱光源解决的。
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公开(公告)号:CN101063663B
公开(公告)日:2012-01-18
申请号:CN200710101110.7
申请日:2007-04-26
Applicant: 西门子公司
IPC: G01N21/958 , G01N21/88 , G01M11/02
CPC classification number: G01N21/896 , G01N21/8901 , G01N21/958 , G01N33/386 , G01N2021/4716 , G01N2021/4735 , G01N2021/8905 , G01N2201/0642 , G01N2201/1042
Abstract: 采用用于探测光滑表面上的点状、线状或者面状缺陷的光学传感器,所述光学传感器包含:a)远心激光扫描仪(12),具有:激光器(1),用于几乎垂直地照射一个光滑的表面(5)、扫描镜(2)、远心的光学系统(4),用于引导照射光束和检测光束;b)探测单元(11),具有:检测光学系统(8)、中心光阑(9),所述中心光阑沿向着远心的激光扫描仪(4)的方向定位在所述检测光学系统的附近、高灵敏度的光电倍增器(6),用于探测从光滑表面(5)上的缺陷发出的散射光,、前置于所述光电倍增器(6)的狭缝光阑(7)。应用/产品:光学检查表面的检验设备。
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公开(公告)号:CN101827662A
公开(公告)日:2010-09-08
申请号:CN200880111705.3
申请日:2008-09-03
Applicant: 比利时电子分拣技术股份有限公司
Inventor: P·博格曼斯
CPC classification number: B07C5/342 , G01N21/85 , G01N21/8901 , G01N2021/8592 , G01N2201/1042
Abstract: 本发明涉及包括宽带光学光源和分拣装置的系统,具体说,是涉及激光器分拣装置。本发明的目的是提供一种包括分拣装置的系统,该分拣装置有提供用于分拣处理的所有波长的光源。这是通过使用一种全光纤超连续光谱光源解决的。
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公开(公告)号:CN101507256A
公开(公告)日:2009-08-12
申请号:CN200680045923.2
申请日:2006-12-04
Applicant: 生物辐射实验室股份有限公司
Inventor: D·Y·楚
CPC classification number: G01N21/253 , G01N2201/0446 , G01N2201/1042
Abstract: 微阵列的扫描是通过能够曝光微阵列上的多个但不是所有位置的掩模来实现的,并且掩模可相对于微阵列移动或者微阵列可相对于掩模移动,或者两者兼之。掩模作为在扫描头的行进处于待机、目标速度时限制对能够照明的微阵列上的微阵列位置的照明的部件是十分有用的,它能够在扫描头轨迹中的一些扫描头加速或者减速的点上阻止光在扫描头和微阵列之间的通过。通过防止光泄漏到与正在扫描的位置相邻的位置上,掩模可以十分有效地减小在微阵列成像中的背景噪声。
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公开(公告)号:CN101063663A
公开(公告)日:2007-10-31
申请号:CN200710101110.7
申请日:2007-04-26
Applicant: 西门子公司
IPC: G01N21/958 , G01N21/88 , G01M11/02
CPC classification number: G01N21/896 , G01N21/8901 , G01N21/958 , G01N33/386 , G01N2021/4716 , G01N2021/4735 , G01N2021/8905 , G01N2201/0642 , G01N2201/1042
Abstract: 采用用于探测光滑表面上的点状、线状或者面状缺陷的光学传感器,所述光学传感器包含:a)远心激光扫描仪(12),具有:激光器(1),用于几乎垂直地照射一个光滑的表面(5)、扫描镜(2)、远心的光学系统(4),用于引导照射光束和检测光束;b)探测单元(11),具有:检测光学系统(8)、中心光阑(9),所述中心光阑沿向着远心的激光扫描仪(4)的方向定位在所述检测光学系统的附近、高灵敏度的光电倍增器(6),用于探测从光滑表面(5)上的缺陷发出的散射光,前置于所述光电倍增器(6)的狭缝光阑(7)。应用/产品:光学检查表面的检验设备。
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公开(公告)号:CN106323477A
公开(公告)日:2017-01-11
申请号:CN201610510354.X
申请日:2016-06-30
Applicant: 安捷伦科技有限公司
IPC: G01J5/08
CPC classification number: G01J3/0297 , G01J3/10 , G01J3/108 , G01J3/2823 , G01J3/42 , G01N21/274 , G01N21/276 , G01N21/3563 , G01N21/4785 , G01N21/55 , G01N2201/101 , G01N2201/1042 , G01N2201/127 , G01J5/0806 , G01J5/0803
Abstract: 公开了用于在无需移除正成像的样本的情况下在生成中红外(MIR)图像期间获得基准样本的方法和装置。可调谐MIR激光器生成汇聚到在第一方向上移动标本的标本级上的标本上的光束。光学组件包括:扫描组件,其具有聚焦透镜;以及镜,其相对于级在与第一方向不同的第二方向上移动,使得聚焦透镜在聚焦透镜与标本级之间保持固定距离。光检测器测量离开标本上的点的光的强度。控制器从所测量的强度形成图像。基准级定位为使得镜响应于命令在基准级上移动,使得控制器也可以进行基准测量。
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