公开(公告)号：CN1656372A

公开(公告)日：2005-08-17

申请号：CN03812572.2

申请日：2003-05-30

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 后藤泰宏 ,  西胁青儿 ,  金马庆明

IPC: G01N21/95 ,  G11B7/26 ,  G11B7/004

CPC classification number: G11B7/00375 ,  G01N21/94 ,  G01N21/9506 ,  G01N2201/1045 ,  G11B19/04

Abstract: 在异物检测装置中，光信号检测单元(1)使光斑在规定方向扫描的同时，在被检查物体面上照射光斑，接收来自被检查物体面的反射光，生成与反射光量对应的光检测信号(HF)。异物检测单元(2a～2h)从光检测信号(HF)中生成与在被检查物体上附着的异物的扫描方向上的开始端以及终端对应出现的异物检测信号(C)。异物检测信号例如作为对光检测信号(HF)和使光检测信号(HF)以规定时间延迟的延迟信号(HF1)进行减法运算的差信号被求出。异物判断单元(3)从异物检测信号(C)生成表示异物存在区域的异物判断信号(H)。

公开(公告)号：CN107407640A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680014859.5

申请日：2016-03-08

Applicant: 瑞尼斯豪公司

Inventor： 蒂莫西·史密斯 ,  理查德·约翰·布莱克威尔-怀特海德

IPC: G01N21/65

CPC classification number: G01J3/44 ,  G01J3/06 ,  G01J2003/064 ,  G01N21/65 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/1045 ,  G01N2201/1087 ,  G02B21/002

Abstract: 本发明涉及一种透射拉曼光谱设备，其包括：光源(101)，其用于在样本(102)上产生光轮廓(110)；光电探测器(103)，其具有至少一个光电探测器元件(103a)；收集光学件(104)，其被布置成收集透射穿过该样本(102)的拉曼散射光，并将该拉曼光导引到至少一个光电探测器元件(103a)上；以及支撑件(109)，其用于支撑该样本(102)。该支撑件(102)和光源(101)被布置成使得该光轮廓(110)能够相对于该样本(102)移动，以便使至少一个光电探测器元件(103a)接收针对该光轮廓(110)在该样本(102)上的不同位置所产生的拉曼散射光。