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公开(公告)号：CN106841687A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201710093432.5
申请日：2017-02-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 采用开尔文探针力显微镜进行多参数同步测量的方法，涉及表面形貌、力学特性和表面局部电势的测量技术，目的是为了解决传统的开尔文探针力显微镜无法实现样品的表面形貌、力学特性和表面局部电势的同步表征的问题。本发明的导电探针始终保持上下往复移动，在一个运动周期内，导电探针和样品之间的最大相互作用力达到设定值对应的时间点为B点，在B点测量表面形貌图像；电探针从样品表面脱离时为C点，在B点和C点之间利用DMT模型得到等效杨氏模量图像；导电探针和样品脱离后继续上升至设定高度并保持一段时间，在该时间段内测量导电探针和样品之间的表面电势差。本发明适用于样品的表面形貌、力学特性和表面局部电势的测量。
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公开(公告)号：CN105628979A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610113831.9
申请日：2016-02-29
Applicant: 东南大学
IPC: G01Q60/28
CPC classification number: G01Q60/28
Abstract: 本发明涉及一种表征集料与沥青粘附作用的方法，其特征在于包括如下步骤：步骤1：将沥青放入烘箱中，加热至液态，基质沥青加热至120℃，改性沥青加热至160℃；步骤2：取少量沥青滴于标准尺寸的载玻片(1)一端，并放回烘箱中约10分钟，便于沥青充分散开，形成平整的沥青试样(2)；步骤3：将试样取出冷却至室温，用于试验；步骤4：选择合适的探针(3)并进行校准；步骤5：规定试样中间一块40μm×40μm的正方形区域为扫描区域，并选取正方形区域内的九个测试点；步骤6：利用原子力显微镜设备对测试点逐一测量粘附力，并计算粘附功。得到的试验指标可用于比较不同种类沥青与集料的粘附性能的好坏以及作为粘附性要求的规范标准。
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公开(公告)号：CN109142795A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201811286078.9
申请日：2018-10-31
Applicant: 国网山东省电力公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司
IPC: G01Q60/28
CPC classification number: G01Q60/28
Abstract: 本发明公开了一种基于原子力显微镜的粘滞力比较方法，属于原子力显微镜粘滞力测量技术领域。包括如下步骤：(1)清洗基体；(2)制备样品：在经过步骤(1)清洗的基体上设有首尾连接的N个样品，N为大于或等于2的自然数，得到待比较样品；(3)粘滞力图像的测量：用原子力显微镜的adhesion通道对经过步骤(2)得到的待比较样品扫描测量，得到adhesion图像，从adhesion图像观察待比较样品的粘滞力大小。本发明能够利用原子力显微镜，简单、快速、直观地比较出不同样品与针尖之间的粘滞力大小，降低数据处理工作量，省时省力。
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公开(公告)号：CN107064564A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710061606.X
申请日：2017-01-26
CPC classification number: G01Q60/28 , G01Q60/42 , H01L21/67288 , H01L27/10876 , H01L27/10885 , H01L27/10888 , H01L28/00 , G01Q60/38 , H01L22/12
Abstract: 本发明提供了形成微图案的方法、基板表面检查装置、用于原子力显微镜的悬臂装置、分析半导体基板的表面的方法、以及探针尖端。该形成微图案的方法包括在半导体基板上形成钉扎图案；在钉扎图案之间的间隔中形成中性图案层；以及通过使用原子力显微镜(AFM)检查引导层的表面，该引导层包括钉扎图案和中性图案层。
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