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公开(公告)号：CN102356236B
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201080012078.5
申请日：2010-03-09
Applicant: 工程吸气公司
Abstract: 本发明公开了一种包括吸气泵(120；220)和离子泵(130；230)的组合泵送系统。该吸气泵和该离子泵(120，130；220，230)被串联安装于同一法兰(111，211)上，并且被分别布置于其相对的侧面上以便于使吸气泵和离子泵朝向真空腔室中的气体流量源的传导性最大化，从而改进该系统的真空层级。
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公开(公告)号：CN1332950A
公开(公告)日：2002-01-23
申请号：CN99815306.0
申请日：1999-12-10
Applicant: 东京电子株式会社
IPC: H05H1/00
CPC classification number: H01J37/32834 , H01J41/12 , H01J41/18 , H05H1/54
Abstract: 用于将离子从第一区域泵送到第二区域的等离子体泵和方法,该泵包括:一分隔件,该分隔件有限定了多个管道(30)的通孔;一组磁体(24),以便提供延伸到管道的磁力;以及多个电势源(14),该电势源(14)用于产生使离子从管道向第二区域加速的静电场。
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公开(公告)号：CN107845560A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201610832523.1
申请日：2016-09-19
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H01J41/12
CPC classification number: H01J41/12
Abstract: 本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种高精度真空规管。一种高精度真空规管，包括：外壳；薄膜片，所述薄膜片固定设置在外壳内部，并将外壳内部空间分为真空空间和被测空间；定电极，所述定电极固定设置在真空空间内，所述定电极与所述薄膜片相对的那一表面上设有主电极，所述定电极的另一表面上设有镀金层；第一电极柱，所述第一电极柱一端与外部电容测量电路相接，另一端与外壳相接；第二电极柱，所述第二电极柱一端与外部电容测量电路相连，另一端穿过外壳与所述镀金层相接，且与所述外壳绝缘；进气口，所述进气口设置在外壳上，并位于被测空间所在的一侧。本发明测量精确，热漂移系数小，能够适用于半导体工艺设备中真空测量。
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公开(公告)号：CN100550267C
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200510096710.X
申请日：2005-08-26
Abstract: 在具备内置电子源进行图像显示的真空容器和与真空容器连通起来进行排气和减压的离子泵的图像显示装置中，具有相对于驱动离子泵的电源与离子泵串联连接的电阻。借助于此，在离子泵驱动时，即便是离子泵的内部电阻与动作状态相对应地进行数量级不同的变动，也因可以抑制消耗电流而可以效率良好地驱动离子泵。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1741241A
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200510096711.4
申请日：2005-08-26
CPC classification number: H01J7/18 , H01J7/14 , H01J9/385 , H01J29/845 , H01J29/94 , H01J31/127 , H01J41/12 , H01J2329/943
Abstract: 一种图像显示装置，包括：内置有电子源和与该电子源对置的阳极电极且保持为减压的真空容器；向上述阳极电极施加电压的阳极电源；以及与上述真空容器连通设置的离子泵，其特征在于：上述离子泵容器由非导电材料构成，在安装有离子泵容器一侧的真空容器的外表面上或者在离子泵容器的内表面上形成导电膜。由此减轻了离子泵的重量，提高了与真空容器之间的兼容性以及防止了离子泵内的放电对图像显示的副作用。
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公开(公告)号：CN1741240A
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200510096710.X
申请日：2005-08-26
Abstract: 在具备内置电子源进行图像显示的真空容器和与真空容器连通起来进行排气和减压的离子泵的图像显示装置中，具有相对于驱动离子泵的电源与离子泵串联连接的电阻。借助于此，在离子泵驱动时，即便是离子泵的内部电阻与动作状态相对应地进行数量级不同的变动，也因可以抑制消耗电流而可以效率良好地驱动离子泵。
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公开(公告)号：CN107923414A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680048213.9
申请日：2016-08-11
Applicant: 株式会社电装
Abstract: 一种喷流产生装置，具备：放电电极(20)；基准电极(30)，该基准电极与所述放电电极分离地配置；电源电路(40)，该电源电路产生对所述放电电极与所述基准电极的电位差进行控制的输出电压；控制部(50)，该控制部将所述电源电路的输出电压在第一电压与第二电压之间切换，所述第一电压是在所述放电电极与所述基准电极之间不诱发电晕放电的电压，所述第二电压是在所述放电电极与所述基准电极之间诱发电晕放电的电压；以及壳体(10)，该壳体至少收容所述基准电极并且具有喷射离子风的喷出口(12)，该离子风由所述电晕放电产生的离子所形成。
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公开(公告)号：CN102356236A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201080012078.5
申请日：2010-03-09
Applicant: 工程吸气公司
Abstract: 本发明公开了一种包括吸气泵(120；220)和离子泵(130；230)的组合泵送系统。该吸气泵和该离子泵(120，130；220，230)被串联安装于同一法兰(111，211)上，并且被分别布置于其相对的侧面上以便于使吸气泵和离子泵朝向真空腔室中的气体流量源的传导性最大化，从而改进该系统的真空层级。
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公开(公告)号：CN101523543A
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200780038402.9
申请日：2007-10-10
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： S·胡特曼
CPC classification number: H01J35/04 , H01J7/18 , H01J35/20 , H01J41/12 , H01J2235/205
Abstract: 本发明描述了一种包括离子处理装置(140)的X射线管(100)，所述离子处理装置(140)具有至少一个离子收集器电极(141)。所述离子收集器电极(141)至少部分由吸气材料制成。所述离子处理装置(140)特别有益于包括无电场区域(131)的高端X射线管。所述离子处理装置(140)产生偏转离子(150)的电场。当撞击到吸气电极(141)上时，所述离子(150)被永久地收集并因此从所述X射线管(100)的真空罩的内部去除。这避免了对X射线管(100)的电子发射器(111)的离子轰击。另外，可以显著地减小残余气体所引起的电弧放电率。吸气材料的加热可以利用加热导线或通过散射电子(322)对包括吸气材料的电极(341、342)的限定轰击来实现。
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