公开(公告)号：US20150160089A1

公开(公告)日：2015-06-11

申请号：US14099149

申请日：2013-12-06

Applicant: FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC.

Inventor： Chad S. Dawson ,  Peter T. Jones

IPC: G01L27/00 ,  B81B7/02 ,  H01L41/08 ,  B81B7/00

CPC classification number: G01L27/002 ,  B81B2201/0264 ,  B81C99/003 ,  G01L9/0073 ,  H01L41/08

Abstract: A MEMS pressure sensor (70) includes a sense cell (80), a test cell (82), and a seal structure (84). The test cell includes a test cavity (104), and the seal structure (84) is in communication with the test cavity, wherein the seal structure is configured to be breached to change an initial cavity pressure (51) within the test cavity (104) to ambient pressure (26). Calibration methodology (180) entails obtaining (184) a test signal (186) from the test cell prior to breaching the seal structure, and obtaining (194) another test signal (196) after the seal structure is breached. The test signals are used to calculate a sensitivity (200) of the test cell, the calculated sensitivity is used to estimate the sensitivity (204) of the sense cell, and the estimated sensitivity (204) can be used to calibrate the sense cell.

Abstract translation: MEMS压力传感器（70）包括感测单元（80），测试单元（82）和密封结构（84）。 测试单元包括测试空腔（104），并且密封结构（84）与测试空腔连通，其中密封结构被构造成被破坏以改变测试空腔（104）内的初始空腔压力（51） ）到环境压力（26）。 校准方法（180）需要在破坏密封结构之前从测试单元获得（184）测试信号（186），并且在密封结构被破坏之后获得（194）另一个测试信号（196）。 测试信号用于计算测试单元的灵敏度（200），计算的灵敏度用于估计感测单元的灵敏度（204），并且估计的灵敏度（204）可用于校准感测单元。