公开(公告)号：US20120200852A1

公开(公告)日：2012-08-09

申请号：US13229185

申请日：2011-09-09

Applicant: Francisco Tejada ,  Peter Griffin ,  Ricky James Morgan ,  Ali Abtahi ,  Usha Raghuram ,  Frida Stromqvist Vetelino ,  Roderick Pearson

Inventor： Francisco Tejada ,  Peter Griffin ,  Ricky James Morgan ,  Ali Abtahi ,  Usha Raghuram ,  Frida Stromqvist Vetelino ,  Roderick Pearson

IPC: G01J3/28 ,  H01B13/00 ,  B32B38/00 ,  B32B37/00 ,  B44C1/22

CPC classification number: H01L27/14629 ,  G01J3/12 ,  G01J3/26

Abstract: The invention pertains to a new type of spectroscope comprising an array of Fabry-Perot cells having no moving parts and that can be fabricated inexpensively using semiconductor fabrication techniques.

Abstract translation: 本发明涉及一种新型的分光镜，其包括不具有运动部分并且可以使用半导体制造技术廉价制造的法布里 - 珀罗细胞阵列。