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1.发明授权Process and device for high-definition measurement of intervals in the focused image produced by a lens-aperture diaphragm system 失效用于高分辨率测量由透镜孔径光阑系统产生的聚焦图像中的间隔的过程和装置
公开(公告)号：US5982483A
公开(公告)日：1999-11-09
申请号：US77993
申请日：1998-07-27
Applicant: Norbert Lauinger , Hans-Otto Carmesin , Eckhard Gornitz , Sigurd Kusch , Manfred Pinnow
Inventor： Norbert Lauinger , Hans-Otto Carmesin , Eckhard Gornitz , Sigurd Kusch , Manfred Pinnow
CPC classification number: G02B7/28 , G01B11/026 , G01P3/36
Abstract: The invention relates to a method and apparatus for determining spatial aor time intervals in the focused image or focused sequence of images of a lens-diaphragm system and/or of spatial, time-related object-parameters (10), spectral and/or local frequency-specific object parameters, in particular to control automatons and to monitor production sequences, focusing of the incident electromagnetic beams being implemented by the lens-diaphragm system (10), position-specific modulation of the direction of propagation, intensity, wavelength, polarization and/or of the time modulation frequency of the electromagnetic beams (11) being implemented by a 3D modulator (12) present behind the lens-diaphragm system (10) in or near the focal plane of the lens-diaphragm system (10), detection of the modulated electromagnetic beams being carried out by a detection system (13) located to the rear of the 3D modulator (12), and calculation of the spatial and/or time intervals (14) of the electromagnetic beams in the 3D modulator (12) being implemented by determining the modulation and/or computation of spatial, time-related, spectral and/or local frequency specific object-parameters
Abstract translation: PCT No.PCT / EP96 / 05592 Sec。 371日期：1998年7月27日 102（e）日期1998年7月27日PCT提交1996年12月13日PCT公布。 公开号WO97 / 22849 PCT 日期：1997年6月26日本发明涉及一种用于确定透镜 - 光阑系统和/或空间，时间相关对象参数（10）的聚焦图像或聚焦图像的空间和/或时间间隔的方法和装置 ），光谱和/或局部频率特定的对象参数，特别是控制自动机并监视生产序列，由透镜 - 光阑系统（10）实现的入射电磁束的聚焦，位置特定的调制方向 电磁波束（11）的传播，强度，波长，极化和/或时间调制频率由透镜 - 光阑系统（10）后面的3D调制器（12）实现在透镜的焦平面内或附近 - 隔膜系统（10），由位于3D调制器（12）的后部的检测系统（13）执行的调制电磁波的检测，以及空间和/或时间间隔（14）的计算 3D调制器（12）中的电磁波束通过确定空间，时间相关，频谱和/或本地频率特定对象参数的调制和/或计算来实现
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