公开(公告)号：US09296105B2

公开(公告)日：2016-03-29

申请号：US14085462

申请日：2013-11-20

Applicant: Applied Materials, Inc.

Inventor： Nir Merry ,  Alex Minkovich ,  Jeffrey C. Hudgens ,  Brendan Till

IPC: B25J9/00 ,  B25J9/16

CPC classification number: B25J9/1653

Abstract: Embodiments disclose a vibration-controlled robot apparatus. The apparatus includes a robot having an end effector operable to transport a substrate, a sensor coupled to the robot, the sensor operable to sense vibration as the robot transports the substrate, and operating the robot to reduce vibration of the end effector supporting the substrate. In some embodiments, a filter is provided in the motor drive circuit to filter one or more frequencies causing unwanted vibration of the end effector. Vibration control systems and methods of operating the same are provided, as are other aspects.

Abstract translation: 实施例公开了一种振动控制机器人装置。 该装置包括机器人，其具有可操作地输送基底的端部执行器，耦合到机器人的传感器，当机器人传送基板时可操作以感测振动的传感器，以及操作机器人以减少支撑基板的端部执行器的振动。 在一些实施例中，在马达驱动电路中提供过滤器以过滤一个或多个引起末端执行器的不希望的振动的频率。 与其他方面一样，提供了振动控制系统及其操作方法。

公开(公告)号：US20140156070A1

公开(公告)日：2014-06-05

申请号：US14085462

申请日：2013-11-20

Applicant: Applied Materials, Inc.

Inventor： Nir Merry ,  Alex Minkovich ,  Jeffrey C. Hudgens ,  Brendan Till

IPC: B25J9/16

CPC classification number: B25J9/1653

Abstract: Embodiments disclose a vibration-controlled robot apparatus. The apparatus includes a robot having an end effector operable to transport a substrate, a sensor coupled to the robot, the sensor operable to sense vibration as the robot transports the substrate, and operating the robot to reduce vibration of the end effector supporting the substrate. In some embodiments, a filter is provided in the motor drive circuit to filter one or more frequencies causing unwanted vibration of the end effector. Vibration control systems and methods of operating the same are provided, as are other aspects.

Abstract translation: 实施例公开了一种振动控制机器人装置。 该装置包括机器人，其具有可操作地输送基底的端部执行器，耦合到机器人的传感器，当机器人传送基板时可操作以感测振动的传感器，以及操作机器人以减少支撑基板的端部执行器的振动。 在一些实施例中，在马达驱动电路中提供过滤器以过滤一个或多个引起末端执行器的不希望的振动的频率。 与其他方面一样，提供了振动控制系统及其操作方法。