公开(公告)号：US20150034620A1

公开(公告)日：2015-02-05

申请号：US14518688

申请日：2014-10-20

Applicant: InSighTech, LLC

Inventor： BIAO ZHANG ,  TAO JU

IPC: B81C3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: G01P15/105 ,  B81B5/00 ,  B81C1/00357 ,  B81C3/001 ,  B81C2201/0197 ,  B81C2203/038 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5776 ,  G01P15/125 ,  G01R33/091 ,  G01R33/093 ,  G01R33/098

Abstract: A method of making a MEMS gyroscope is disclosed herein, wherein the MEMS gyroscope comprised a magnetic sensing mechanism on a magnetic sensor wafer and a magnetic source on a MEMS wafer that further comprises a proof-mass.

Abstract translation: 本文公开了一种制造MEMS陀螺仪的方法，其中MEMS陀螺仪包括在磁传感器晶片上的磁感测机构以及还包括校验质量的MEMS晶片上的磁源。