公开(公告)号：US20140347660A1

公开(公告)日：2014-11-27

申请号：US14366812

申请日：2012-12-19

Applicant: Taylor Hobson Limited

Inventor： Mathieu Rayer

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/0262 ,  G01B11/026 ,  G01B11/303 ,  G01B11/306 ,  G01B2210/50 ,  G02B21/0064

Abstract: Metrological apparatus and a confocal sensor for use in such apparatus are described. The confocal sensor (1) has an optical pinhole (11) adapted for letting through a light beam (2). An optical assembly of the sensor has a first lens (12) having a refractive profile (121) and a diffractive profile (122) and a second lens (13) having at least a refractive profile (131). The refractive profile (121) of the first lens (12) and the refractive profile (131) of the second lens (13) focus the light beam (2) into a focused beam (21). The diffractive profile (122) of the first lens (12) creates longitudinal chromatic aberration so that the focused beam (21) has a focal zone with a longitudinal depth (R).

Abstract translation: 描述了用于这种装置的计量装置和共聚焦传感器。 共焦传感器（1）具有适于通过光束（2）的光学针孔（11）。 传感器的光学组件具有具有折射轮廓（121）和衍射轮廓（122）的第一透镜（12）和至少具有折射轮廓（131）的第二透镜（13）。 第一透镜（12）的折射轮廓（121）和第二透镜（13）的折射轮廓（131）将光束（2）聚焦成聚焦光束（21）。 第一透镜（12）的衍射轮廓（122）产生纵向色差，使得聚焦光束（21）具有纵向深度（R）的聚焦区域。