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发明申请
표면이 기능화된 그래핀층을 이용한 박막의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 박막 审中-公开

公开(公告)号：WO2023075277A1

公开(公告)日：2023-05-04

申请号：PCT/KR2022/015921

申请日：2022-10-19

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 이관형 , 류희제

IPC: H01L21/02 , C01B32/182

Abstract: 본 발명은 표면이 기능화된 그래핀층을 이용한 박막의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 박막에 관한 것으로, 구체적으로 기판에 그래핀층을 위치하여 상기 기판의 재질에 상관없이 균일한 박막의 제조 및 탈부착을 가능하게 하는 표면이 기능화된 그래핀층을 이용한 박막의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 박막에 관한 것이다.

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