公开(公告)号：WO2018070635A1

公开(公告)日：2018-04-19

申请号：PCT/KR2017/006323

申请日：2017-06-16

Applicant: 한국기계연구원 ,  재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 최시영 ,  김성대 ,  류정호 ,  송경 ,  최홍수

IPC: H01J37/141 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/141 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26

Abstract: 본 발명의 일 실시예로써, 입체형 코일 구조를 갖는 자기장 발생 소자 및 이러한 소자를 제조하기 위한 방법이 제공될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 입체형 코일 구조를 갖는 자기장 발생 소자는 기판 및 기판 상에 형성된 소정 크기의 선폭을 갖는 나선형의 입체형 헬름홀츠(helmholz) 코일을 포함하고, 기판 상에서 나선형으로 형성된 헬름홀츠 코일에 인가된 전류에 의하여 기판과 평행한 방향으로 자기장이 발생될 수 있다.

Abstract translation: 作为本发明的一个实施例，可以提供具有三维线圈结构的磁场产生元件和用于制造这种装置的方法。 根据本发明实施例的具有三维线圈结构的磁场产生元件包括基板和在基板上形成的具有预定线宽的螺旋形亥姆霍兹线圈，并且设置有亥姆霍兹线圈 由于产生的电流，可以在平行于基板的方向上产生磁场。