公开(公告)号：WO2014046465A1

公开(公告)日：2014-03-27

申请号：PCT/KR2013/008415

申请日：2013-09-17

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박경현 ,  김남제 ,  고현성 ,  이동훈 ,  한상필 ,  류한철 ,  박정우 ,  문기원 ,  김대용

IPC: H01S1/00

CPC classification number: G02F1/353 ,  G02F2203/13 ,  H01L31/02161 ,  H01L31/03046 ,  H01L31/14 ,  H01L31/1844

Abstract: 기존 광대역 테라헤르츠 분광시스템의 핵심부품인 PCA 및 포토믹서의 현존하는 제한적인 요소를 근본적으로 해결한 포토믹서 및 그의 제조방법을 제시한다. 제시된 포토믹서는 기판의 상면에 형성되되 광이 입사되는 영역에 형성된 활성층, 및 기판의 상면에 형성되되 광이 입사되는 영역을 제외한 나머지 영역에 형성된 열전도층을 포함한다. 활성층은 메사형 단면을 갖도록 형성되고, 열전도층은 광이 입사되는 영역을 제외한 영역에 MOCVD법으로 재성장되어 평탄화된 표면을 갖게 된다.

Abstract translation: 本发明涉及一种基本上解决现有宽带太赫兹光谱系统的关键组件的PCA和光混合器的现有局限性的光混合器及其制造方法。 根据本发明的光混合器包括：形成在形成在基板的上表面上的光入射区域中的有源层; 以及形成在所述光入射区域以外的区域中并且形成在所述基板的上表面上的导热层。 有源层形成为具有台面型横截面，并且通过MOCVD方法在除了光入射区域之外的区域中重新生长导热层以具有平坦的表面。