半导体芯片层叠体的制造方法及半导体装置
Abstract:
本发明提供一种半导体芯片层叠体的制造方法,其具有:在基板或其它半导体芯片上涂敷半导体部件用胶粘剂的涂敷工序(1);隔着已涂敷的半导体部件用胶粘剂层叠半导体芯片的半导体芯片层叠工序(2);在基板或其它半导体芯片上的使半导体芯片接合的整个区域,使半导体部件用胶粘剂均匀地润湿扩展的工序(3);和、使半导体部件用胶粘剂固化的固化工序(4),在涂敷工序(1)中,涂敷半导体部件用胶粘剂的区域为使半导体芯片接合的区域的40~90%,刚完成半导体芯片层叠工序(2)之后的半导体部件用胶粘剂润湿扩展的区域为使半导体芯片接合的区域的60%以上且小于100%,在润湿扩展的工序(3)中,半导体部件用胶粘剂的在用E型粘度计测定的0.5rpm下的粘度为1~30Pa·s。
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