功率开关的晶片测试方法
Abstract:
本发明涉及功率开关的晶片测试方法,能简单与实际工作状态同样地测定主IGBT流过的主电流与电流检测用IGBT流过的检测电流的电流比。检测主IGBT(1)的电流值的电流检测用IGBT(2)在同一个半导体衬底上集成形成的功率开关的晶片测试方法中,设置使电流检测用IGBT的发射极电流流过主IGBT的发射极端子(6)的电阻单元,使主IGBT和电流检测用IGBT同时导通并对主IGBT和电流检测用IGBT的共用集电极端子施加恒定电流,根据由电阻单元的两端电压求出的电流检测用IGBT中流过的电流和恒定电流,计算主IGBT的主电流与电流检测用IGBT的检测电流的电流比(主电流/检测电流)。
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