Invention Publication
CN103668060A 多层同质生长铁酸铋薄膜材料及其制备方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 多层同质生长铁酸铋薄膜材料及其制备方法
- Patent Title (English): Multilayer homogeneous growth bismuth ferrite thin-film material and preparation method thereof
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Application No.: CN201310646917.4Application Date: 2013-12-04
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Publication No.: CN103668060APublication Date: 2014-03-26
- Inventor: 严胡睿 , 周文亮 , 杨平雄 , 褚君浩
- Applicant: 华东师范大学
- Applicant Address: 上海市普陀区中山北路3663号
- Assignee: 华东师范大学
- Current Assignee: 华东师范大学
- Current Assignee Address: 上海市普陀区中山北路3663号
- Agency: 上海麦其知识产权代理事务所
- Agent 董红曼
- Main IPC: C23C14/06
- IPC: C23C14/06 ; C23C14/35 ; C23C14/58

Abstract:
本发明公开了多层同质生长铁酸铋薄膜材料,包括底电极和铁酸铋薄膜,所述底电极是镍酸镧薄膜,所述铁酸铋薄膜溅射生长在所述底电极上。本发明还公开了多层同质生长铁酸铋薄膜材料的制备方法,用磁控溅射法在硅基片上制备所述底电极,采用固相法制备铁酸铋薄膜;在底电极上溅射一层所述铁酸铋薄膜,然后快速退火,重复以上溅射过程6-8次;最后慢退火处理,得到所述多层同质生长铁酸铋薄膜材料。本发明得到的铁酸铋薄膜均匀性好、纯度高、致密性好,表面性质明显改善。本发明方法利用磁控溅射法可控性强,易于操控,可以精确控制薄膜的厚度。
Public/Granted literature
- CN103668060B 多层同质生长铁酸铋薄膜材料及其制备方法 Public/Granted day:2016-04-06
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