双重图案化布局设计方法
Abstract:
本发明公开了一种双重图案化布局设计方法,该方法包括步骤:在原理电路上定义关键路径,所述关键路径包括第一路径和第二路径;以及定义双重图案化布局,所述双重图案化布局被划分成具有第一颜色的第一掩模布局和具有第二颜色的第二掩模布局,所述双重图案化布局与所述原理电路相对应。定义所述双重图案化布局的步骤包括在所述原理电路上锚定所述关键路径。
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