负型感光性硅氧烷组合物
Abstract:
本发明提供可进行无机显影的负型感光性硅氧烷化合物、以及使用了其的固化膜的形成方法。一种负型感光性硅氧烷组合物,其包含聚硅氧烷、具有脲基键的含硅的化合物、聚合引发剂、以及溶剂。可通过将该组合物涂布于基材上,进行曝光,无需进行曝光后加热而进行显影,从而获得固化膜。
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