正型感光性硅氧烷组合物

    公开(公告)号:CN108700807A

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201780012825.7

    申请日:2017-01-20

    Abstract: 提供一种正型感光性硅氧烷组合物,其可在不释放出苯等有害的挥发性成分的状态下形成高分辨率、高耐热性、高透明性的图案,还能减少由在图案形成之时的显影残渣、溶化残留物或难溶物的再附着导致的图案缺陷,储藏稳定性也优异。本发明提供一种正型感光性硅氧烷组合物,其包含:具有苯基的聚硅氧烷、重氮基萘醌衍生物、具有特定的含氮杂环结构的光碱产生剂的水合物或者溶剂化物、以及有机溶剂。

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