Invention Grant
- Patent Title: 基板清洗装置及基板处理装置
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Application No.: CN201410512730.XApplication Date: 2014-09-29
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Publication No.: CN104517808BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 田中英明
- Applicant: 株式会社荏原制作所
- Applicant Address: 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
- Assignee: 株式会社荏原制作所
- Current Assignee: 株式会社荏原制作所
- Current Assignee Address: 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
- Agency: 上海市华诚律师事务所
- Agent 梅高强; 刘煜
- Priority: 2013-208020 2013.10.03 JP
- Main IPC: H01L21/02
- IPC: H01L21/02 ; H01L21/67

Abstract:
提供一种基板清洗装置,具有:辊子组件(95),其至少包含与基板(W)接触的辊子清洗部件(46)及将该辊子清洗部件(46)支撑成旋转自如的辊子臂(42);支撑臂(58),其用于支撑辊子组件(95);调整螺杆(83),其贯通支撑臂(58),并拧入辊子组件(95)内;以及螺杆支撑件(84),其将调整螺杆(83)相对于支撑臂(58)的上下方向的相对位置予以固定,并将调整螺杆(83)支撑成可旋转。采用本发明,可将测力传感器搭载在最佳位置上,且可实现大幅度的调整,减少药液喷管或冲洗液喷管等布置设计的制约。
Public/Granted literature
- CN104517808A 基板清洗装置及基板处理装置 Public/Granted day:2015-04-15
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IPC分类: