基板清洗装置及基板处理装置
Abstract:
提供一种基板清洗装置,具有:辊子组件(95),其至少包含与基板(W)接触的辊子清洗部件(46)及将该辊子清洗部件(46)支撑成旋转自如的辊子臂(42);支撑臂(58),其用于支撑辊子组件(95);调整螺杆(83),其贯通支撑臂(58),并拧入辊子组件(95)内;以及螺杆支撑件(84),其将调整螺杆(83)相对于支撑臂(58)的上下方向的相对位置予以固定,并将调整螺杆(83)支撑成可旋转。采用本发明,可将测力传感器搭载在最佳位置上,且可实现大幅度的调整,减少药液喷管或冲洗液喷管等布置设计的制约。
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