Invention Grant
- Patent Title: 图像传感器及其制造方法
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Application No.: CN201410599391.3Application Date: 2014-10-30
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Publication No.: CN104637962BPublication Date: 2018-11-09
- Inventor: 关根裕之 , 石野隆行 , 浮田亨 , 田村文识 , 竹知和重
- Applicant: NLT科技股份有限公司
- Applicant Address: 日本神奈川县
- Assignee: NLT科技股份有限公司
- Current Assignee: 天马日本株式会社
- Current Assignee Address: 日本神奈川县
- Agency: 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- Agent 黄志华
- Priority: 2013-231151 2013.11.07 JP
- Main IPC: H01L27/146
- IPC: H01L27/146

Abstract:
本发明提供一种图像传感器及其制造方法。该图像传感器包括基板、以及在基板上依次层叠形成的多个光电转换元件和多个开关元件。各光电转换元件包括氢化非晶硅层。各开关元件包括非晶氧化物半导体层。图像传感器还包括阻挡层,所述阻挡层设置在光电转换元件的氢化非晶硅层与开关元件的非晶氧化物半导体层之间,其中,阻挡层抑制从氢化非晶硅层分离的氢的透过。
Public/Granted literature
- CN104637962A 图像传感器及其制造方法 Public/Granted day:2015-05-20
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IPC分类: