Invention Grant
- Patent Title: 研磨装置及研磨方法
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Application No.: CN201510148861.9Application Date: 2015-03-31
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Publication No.: CN104942699BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 並木计介 , 安田穗积 , 锅谷治 , 福岛诚 , 富樫真吾 , 山木晓 , 矶野慎太郎
- Applicant: 株式会社荏原制作所
- Applicant Address: 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
- Assignee: 株式会社荏原制作所
- Current Assignee: 株式会社荏原制作所
- Current Assignee Address: 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
- Agency: 上海市华诚律师事务所
- Agent 梅高强; 刘煜
- Priority: 2014-074481 2014.03.31 JP
- Main IPC: B24B37/10
- IPC: B24B37/10 ; B24B37/32 ; B24B37/005 ; B24B37/015 ; H01L21/02 ; H01L21/67

Abstract:
本发明提供一种可抑制基板保持部件的保持环形状的每个保持环的偏差和经时变化所带来的研磨外形的重现性下降。该研磨装置具有:研磨头(1),该研磨头将基板(W)按压到研磨垫(101)上并具有将被按压到研磨垫(101)上的基板(W)包围的挡环(3);测定用传感器(51),该测定用传感器对挡环(3)的表面形状进行测定;以及控制部(500),该控制部根据由测定用传感器(51)测定的挡环(3)的表面形状来决定基板(W)的研磨条件。
Public/Granted literature
- CN104942699A 研磨装置及研磨方法 Public/Granted day:2015-09-30
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