Invention Publication
- Patent Title: 晶体管的修复方法和装置
- Patent Title (English): Method and device for repairing transistor
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Application No.: CN201611193990.0Application Date: 2016-12-21
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Publication No.: CN106711028APublication Date: 2017-05-24
- Inventor: 简重光
- Applicant: 惠科股份有限公司 , 重庆惠科金渝光电科技有限公司
- Applicant Address: 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋,九州阳光1号厂房6、7楼;
- Assignee: 惠科股份有限公司,重庆惠科金渝光电科技有限公司
- Current Assignee: 惠科股份有限公司,重庆惠科金渝光电科技有限公司
- Current Assignee Address: 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋,九州阳光1号厂房6、7楼;
- Agency: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- Agent 邓云鹏
- Main IPC: H01L21/04
- IPC: H01L21/04 ; H01L21/67

Abstract:
本发明涉及一种晶体管的修复方法和装置。一种晶体管的修复方法,用于对薄膜晶体管的源极和漏极中间的金属层的短路缺陷进行修复;所述修复方法包括:获取所述薄膜晶体管的源极和漏极之间的金属层的短路位置;利用第一波长激光刻蚀掉所述短路位置上方的保护层;利用第二波长激光刻蚀掉所述短路位置区的金属层;以及利用第三波长激光部分刻蚀所述短路位置下方的通道层。上述方法针对不同层采用不同波长激光进行刻蚀,从而实现对其他层的保护。同时对通道层进行部分刻蚀,将该短路缺陷修复成正常状况,因此不会增加产品的暗点数,提高产品的良品率,减少产品报废。
Public/Granted literature
- CN106711028B 晶体管的修复方法和装置 Public/Granted day:2019-08-13
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