晶体管的修复方法和装置
Abstract:
本发明涉及一种晶体管的修复方法和装置。一种晶体管的修复方法,用于对薄膜晶体管的源极和漏极中间的金属层的短路缺陷进行修复;所述修复方法包括:获取所述薄膜晶体管的源极和漏极之间的金属层的短路位置;利用第一波长激光刻蚀掉所述短路位置上方的保护层;利用第二波长激光刻蚀掉所述短路位置区的金属层;以及利用第三波长激光部分刻蚀所述短路位置下方的通道层。上述方法针对不同层采用不同波长激光进行刻蚀,从而实现对其他层的保护。同时对通道层进行部分刻蚀,将该短路缺陷修复成正常状况,因此不会增加产品的暗点数,提高产品的良品率,减少产品报废。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0