一种高电子迁移率晶体管T型栅的制作方法
Abstract:
本发明提供一种高电子迁移率晶体管T型栅的制作方法,包括以下步骤:S1、在晶体管表面生长Si3N4介质钝化层;S2、在介质钝化层上均匀涂抹高光感正胶并进行烘烤;S3、采用步进式曝光方式对高光感正胶进行曝光显影形成栅槽刻蚀窗口,并进行烘烤;S4、刻蚀介质钝化层形成栅槽,并去除高光感正胶;S5、在晶体管表面均匀涂抹负胶,对负胶进行光刻形成栅帽线条;S6、蒸发栅金属并剥离形成栅极。本发明采用步进式曝光、缩胶工艺及ICP‑RIE刻蚀来调节目标线条的特征尺寸,可以灵活制作特征尺寸为0.1‑0.5μm的栅线条,与电子束曝光方式相比,生产效率大大提升,适用于批量生产。
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