Invention Publication
- Patent Title: 一种亚波长分束光栅混合集成光电探测器阵列
- Patent Title (English): Sub-wavelength beam-splitting grating hybrid integrated photoelectric detector array
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Application No.: CN201611249948.6Application Date: 2016-12-29
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Publication No.: CN106784028APublication Date: 2017-05-31
- Inventor: 黄永清 , 费嘉瑞 , 段晓峰 , 房文敬 , 刘凯 , 王莹 , 赵康 , 王俊 , 任晓敏
- Applicant: 北京邮电大学
- Applicant Address: 北京市海淀区西土城路10号66信箱
- Assignee: 北京邮电大学
- Current Assignee: 北京邮电大学
- Current Assignee Address: 北京市海淀区西土城路10号66信箱
- Agency: 北京路浩知识产权代理有限公司
- Agent 王庆龙
- Main IPC: H01L31/02
- IPC: H01L31/02 ; H01L31/0232 ; H01L27/146

Abstract:
本发明提供一种光电探测器阵列,包括具有光束分束功能的亚波长光栅,以及位于亚波长光栅上方的光电探测器组;所述亚波长光栅与光电探测器组间设有键合介质层。在处理大功率、高速、高动态范围的入射光信号时,其包含的高性能亚波长分束光栅将该光信号分为多束功率较小、动态范围较小的光信号并分别由光电探测器阵列中的各分布式光电探测器进行光电转换,各光电探测器产生的电信号在大电极处叠加从而还原原注入信号。本方案克服了单个光电探测器无法处理过大功率及过大动态范围的光信号的弊端,也克服了传统光电探测器阵列耦合方式及制备工艺复杂的缺点,相较于前两者具有工艺简单易于制备、饱和功率大、动态范围大、响应度高的特点。
Public/Granted literature
- CN106784028B 一种亚波长分束光栅混合集成光电探测器阵列 Public/Granted day:2021-04-13
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IPC分类: