Cu芯球的制造方法
Abstract:
本发明涉及Cu芯球的制造方法。本发明的Cu芯球的制造方法具备:提供作为核的Cu球的阶段,该Cu球是纯度为99.9%以上且99.995%以下、U为5ppb以下的含量且Th为5ppb以下的含量、Pb和/或Bi的总含量为1ppm以上、球形度为0.95以上、α射线量为0.0200cph/cm2以下的Cu球;提供覆盖所述Cu球的表面的焊料镀覆膜的阶段,所述焊料镀覆膜为Sn焊料镀覆膜或由以Sn作为主要成分的无铅焊料合金形成的焊料镀覆膜,对Cu芯球进行平滑化处理的阶段,该阶段中,通过在将Cu芯球浸渍于镀液的状态下照射超声波来对Cu芯球进行平滑化处理,使所述Cu芯球的算术平均表面粗糙度为0.3μm以下。
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