被固有地设计为共振、适于RF功率传送的装置以及包括这种装置且可用于产生等离子体的组
Abstract:
本发明涉及一种被固有地设计为共振的装置(2),所述装置(2)适于RF功率传送,具体能够用于产生等离子体,并且能够电连接在具有固定频率或可变频率的射频电源(3)的下游,所述装置(2)包括:至少一个电感元件(Lp),所述至少一个电感元件在使用时能够由这种至少一个电源(3)供电;至少一个电容元件(Cp),所述至少一个电容元件电连接在这种至少一个电感元件(Lp)的端子处;这种至少一个装置(2)具有等于 的共振角频率。电容元件(Cp)和电感元件(Lp)具有使得在共振状态下电容元件和电感元件提供在这种装置(2)的端子处测量的等效阻抗的值,所述等效阻抗大致为电阻式,并且远大于在这种装置(2)的这种端子上游处的寄生阻抗的值,使得这种寄生阻抗的效应在使用期间大致能够忽略。
Patent Agency Ranking
0/0