Invention Publication
- Patent Title: 被固有地设计为共振、适于RF功率传送的装置以及包括这种装置且可用于产生等离子体的组
- Patent Title (English): A device intrinsically designed to resonate, suitable for RF power transfer as well as group including such device and usable for the production of plasma
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Application No.: CN201680010098.6Application Date: 2016-01-15
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Publication No.: CN107430976APublication Date: 2017-12-01
- Inventor: A·F·塞尔莫
- Applicant: A·F·塞尔莫 , D·帕瓦林 , F·特雷佐拉尼 , M·马嫩特
- Applicant Address: 意大利维罗纳市
- Assignee: A·F·塞尔莫,D·帕瓦林,F·特雷佐拉尼,M·马嫩特
- Current Assignee: A·F·塞尔莫,D·帕瓦林,F·特雷佐拉尼,M·马嫩特
- Current Assignee Address: 意大利维罗纳市
- Agency: 北京三友知识产权代理有限公司
- Agent 吕俊刚; 杨薇
- International Application: PCT/IB2016/050199 2016.01.15
- International Announcement: WO2016/113707 EN 2016.07.21
- Date entered country: 2017-08-08
- Main IPC: H01J37/32
- IPC: H01J37/32

Abstract:
本发明涉及一种被固有地设计为共振的装置(2),所述装置(2)适于RF功率传送,具体能够用于产生等离子体,并且能够电连接在具有固定频率或可变频率的射频电源(3)的下游,所述装置(2)包括:至少一个电感元件(Lp),所述至少一个电感元件在使用时能够由这种至少一个电源(3)供电;至少一个电容元件(Cp),所述至少一个电容元件电连接在这种至少一个电感元件(Lp)的端子处;这种至少一个装置(2)具有等于 的共振角频率。电容元件(Cp)和电感元件(Lp)具有使得在共振状态下电容元件和电感元件提供在这种装置(2)的端子处测量的等效阻抗的值,所述等效阻抗大致为电阻式,并且远大于在这种装置(2)的这种端子上游处的寄生阻抗的值,使得这种寄生阻抗的效应在使用期间大致能够忽略。
Public/Granted literature
- CN107430976B 共振的装置、含装置的组及操作方法和等离子体产生设备 Public/Granted day:2019-10-11
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