一种全打印氧化锌紫外探测器的制备方法
Abstract:
本发明提供了一种全打印氧化锌紫外探测器的制备方法,在制备氧化锌紫外光探测器的方法中,通过合适配比的盐酸、柠檬酸、聚乙二醇和水混合溶液,并使用所述混合溶液直接采用打印法形成ITO沟槽,所述混合溶液能够降低其对衬底的浸润性,降低对ITO腐蚀时由于侧边腐蚀难易控制图案边缘造成的打印图形和形成的沟槽图形严重不符的现象。并且在制备方法中按照分散点状打印纳米银墨水,通过Ag纳米颗粒与ZnO之间形成表面等离子共振产生强烈的光吸收。该制备方法简单,成本低,可操作性强;并且采用打印方式形成ITO沟槽,与传统的图形化光刻与酸腐蚀导电层方法制作电极图形的方法相比,不会造成大量腐蚀液排放污染。
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