Invention Grant
CN107768483B 一种全打印氧化锌紫外探测器的制备方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 一种全打印氧化锌紫外探测器的制备方法
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Application No.: CN201711036820.6Application Date: 2017-10-30
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Publication No.: CN107768483BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 刘汇慧 , 王会娴 , 张利平 , 崔红玲 , 张大伟
- Applicant: 河南科技大学
- Applicant Address: 河南省洛阳市涧西区西苑路48号
- Assignee: 河南科技大学
- Current Assignee: 河南科技大学
- Current Assignee Address: 河南省洛阳市涧西区西苑路48号
- Agency: 洛阳公信知识产权事务所
- Agent 魏新培
- Main IPC: H01L31/18
- IPC: H01L31/18 ; B82Y30/00

Abstract:
本发明提供了一种全打印氧化锌紫外探测器的制备方法,在制备氧化锌紫外光探测器的方法中,通过合适配比的盐酸、柠檬酸、聚乙二醇和水混合溶液,并使用所述混合溶液直接采用打印法形成ITO沟槽,所述混合溶液能够降低其对衬底的浸润性,降低对ITO腐蚀时由于侧边腐蚀难易控制图案边缘造成的打印图形和形成的沟槽图形严重不符的现象。并且在制备方法中按照分散点状打印纳米银墨水,通过Ag纳米颗粒与ZnO之间形成表面等离子共振产生强烈的光吸收。该制备方法简单,成本低,可操作性强;并且采用打印方式形成ITO沟槽,与传统的图形化光刻与酸腐蚀导电层方法制作电极图形的方法相比,不会造成大量腐蚀液排放污染。
Public/Granted literature
- CN107768483A 一种全打印氧化锌紫外探测器的制备方法 Public/Granted day:2018-03-06
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