Invention Publication
- Patent Title: 复合基板及压电基板的厚度趋势推定方法
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Application No.: CN201680002494.4Application Date: 2016-09-14
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Publication No.: CN108352442APublication Date: 2018-07-31
- Inventor: 长江智毅 , 小泉文人
- Applicant: 日本碍子株式会社
- Applicant Address: 日本国爱知县
- Assignee: 日本碍子株式会社
- Current Assignee: 日本碍子株式会社
- Current Assignee Address: 日本国爱知县
- Agency: 北京旭知行专利代理事务所
- Agent 王轶; 郑雪娜
- Priority: 2015-181763 2015.09.15 JP
- International Application: PCT/JP2016/077033 2016.09.14
- International Announcement: WO2017/047605 JA 2017.03.23
- Date entered country: 2017-03-01
- Main IPC: H01L41/337
- IPC: H01L41/337 ; H01L41/053 ; H01L41/08 ; H01L41/313 ; H03H3/08 ; H03H9/25

Abstract:
本发明的复合基板是一种包括直径2英寸以上的支撑基板和厚度为20μm以下且透光并接合于所述支撑基板的压电基板的复合基板,其中,所述压电基板具有条纹状的厚度分布,在沿着与所述条纹正交的线切割所述复合基板而得到的截面处的、所述压电基板的厚度分布中,出现厚度方向的振幅为5nm~100nm且宽度方向的间距为0.5mm~20mm的波形,该波形的间距与所述条纹的宽度相关。压电基板中,所述条纹可以为平行的条纹,也可以为旋涡状或同心圆状的条纹。
Public/Granted literature
- CN108352442B 复合基板及压电基板的厚度趋势推定方法 Public/Granted day:2021-07-20
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