一种微观制备六方相二碲化锗晶体的方法
Abstract:
本发明公开了一种微观制备六方相二碲化锗晶体的方法,包括:选择能够进行微观结构表征或电学性能测试的衬底制备锗锑碲非晶薄膜;选择锗锑碲化合物作为异质结构的主体材料;利用磁控溅射或分子束外延薄膜制备方法制备出碲元素含量高的非晶薄膜;将制备好的非晶薄膜进行高温退火处理,并在氩气气氛或真空下进行保护,形成六方相晶体结构;对退火后的六方相晶体样品进行预处理;利用TEM来表征预处理后的六方相晶体样品的结构,或利用电学测试平台测试其电学性能,即完成六方相二碲化锗晶体的微观制备。本发明结合了主流的薄膜制备方法,便于观察及微观结构表征和进行性能表征,简便易操作,可行性高。
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