Invention Publication
- Patent Title: GaN基垂直型功率晶体管器件及其制作方法
- Patent Title (English): GaN-based vertical power transistor device and fabrication method thereof
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Application No.: CN201810544039.8Application Date: 2018-05-28
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Publication No.: CN108807542APublication Date: 2018-11-13
- Inventor: 刘新宇 , 王成森 , 黄森 , 王鑫华 , 康玄武 , 魏珂 , 黄健
- Applicant: 捷捷半导体有限公司 , 中国科学院微电子研究所
- Applicant Address: 江苏省南通市苏通科技产业园井冈山路6号;
- Assignee: 捷捷半导体有限公司,中国科学院微电子研究所
- Current Assignee: 捷捷半导体有限公司,中国科学院微电子研究所
- Current Assignee Address: 江苏省南通市苏通科技产业园井冈山路6号;
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 任岩
- Main IPC: H01L29/78
- IPC: H01L29/78 ; H01L29/06 ; H01L21/336

Abstract:
本公开提供了一种GaN基垂直型功率晶体管器件及其制作方法;其中,所述GaN基垂直型功率晶体管器件,包括:N型GaN衬底;形成于N型GaN衬底上的N型GaN外延层;形成于N型GaN外延层上的Al(In,Ga)N背势垒层;形成于Al(In,Ga)N背势垒层上的薄势垒Al(In,Ga)N/GaN异质结构;形成于所述薄势垒Al(In,Ga)N/GaN异质结构上的钝化层以及栅极和源极,形成于N型GaN衬底上的漏极。本公开GaN基垂直型功率晶体管器件及其制作方法有效降低了GaN基垂直型功率晶体管的工艺难度,从而使其兼容常规GaN基横向器件的工艺,推动了GaN基垂直型功率晶体管在更高电流和功率转换中的应用。
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