Invention Publication
- Patent Title: 超稳定的银钽复合材料表面增强拉曼散射基底及制备方法
- Patent Title (English): Superstable silver-tantalum composite surface-reinforced Raman scattering substrate and preparation method
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Application No.: CN201810799182.1Application Date: 2018-07-19
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Publication No.: CN109112491APublication Date: 2019-01-01
- Inventor: 宋忠孝 , 陈东圳 , 赵永席 , 黄剑 , 井津域 , 李莎
- Applicant: 西安交通大学
- Applicant Address: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- Assignee: 西安交通大学
- Current Assignee: 北京中发领涂新材料研究院有限公司
- Current Assignee Address: 100042 北京市石景山区田顺庄北路1号院1号楼3层303-8室
- Agency: 西安通大专利代理有限责任公司
- Agent 姚咏华
- Main IPC: C23C14/35
- IPC: C23C14/35 ; C23C14/16 ; C22C5/06 ; C22C27/06 ; C22C27/02

Abstract:
本发明提供一种超稳定的银钽复合材料表面增强拉曼散射基底及其制备方法,采用磁控溅射沉积银、钽复合薄膜,将清洗干净的单晶硅片抽真空并沉积铬膜;控制电流强度,分别精确调控银、钽元素沉积速率,维持腔室反应压力,持续溅射沉积银、钽元素形成双金属复合材料,有效提高银的耐腐蚀性及稳定性,以实现超稳定的表面增强拉曼散射检测。本发明提供的银钽复合材料基底通过在真空条件下进行磁控溅射制备,其表面无污染、清洁度高,有效提高了表面增强拉曼散射检测的灵敏度和准确度。本发明制备过程简单,比表面积大,成本低,便于工业化生产,能广泛应用于表面增强拉曼散射传感、金属催化、纳米探针、光电器件、太阳能电池,吸附材料等领域。
Public/Granted literature
- CN109112491B 超稳定的银钽复合材料表面增强拉曼散射基底及制备方法 Public/Granted day:2019-10-11
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