Invention Publication
- Patent Title: 被加工物的切削方法
- Patent Title (English): CUTTING METHOD OF WORKPIECE
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Application No.: CN201810585752.7Application Date: 2018-06-06
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Publication No.: CN109148367APublication Date: 2019-01-04
- Inventor: 田中诚 , 许贵俊 , 陈志吉
- Applicant: 株式会社迪思科
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 株式会社迪思科
- Current Assignee: 株式会社迪思科
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京三友知识产权代理有限公司
- Agent 于靖帅; 乔婉
- Priority: 2017-117537 20170615 JP
- Main IPC: H01L21/78
- IPC: H01L21/78

Abstract:
提供被加工物的切削方法,抑制正面缺损的产生,防止在外周剩余区域形成端材芯片。板状的被加工物在正面上具有在由交叉的多条分割预定线划分的多个区域分别形成有器件的器件区域和围绕器件区域的外周剩余区域,该方法在被加工物的器件区域形成期望深度的切削槽,具有如下步骤:引导槽形成步骤,使切削刀具从被加工物的外周沿着分割预定线切入至卡盘工作台所保持的被加工物,在从外周到器件区域的一部分的范围内形成比期望深度浅的引导槽;和器件区域加工步骤,使切削刀具朝向器件区域的引导槽下降而切入引导槽,将切削刀具的刃尖定位于期望深度,然后沿着分割预定线超过器件区域的相反侧的端部而在外周剩余区域的一部分的范围内形成期望深度的槽。
Public/Granted literature
- CN109148367B 被加工物的切削方法 Public/Granted day:2023-12-15
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IPC分类: