Invention Publication
- Patent Title: 制造相变化记忆体的方法
- Patent Title (English): Method of manufacturing phase-change memory
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Application No.: CN201811516556.0Application Date: 2018-12-12
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Publication No.: CN109509835APublication Date: 2019-03-22
- Inventor: 杨子澔 , 张明丰
- Applicant: 江苏时代全芯存储科技有限公司 , 江苏时代芯存半导体有限公司
- Applicant Address: 江苏省淮安市淮阴区淮河东路188号
- Assignee: 江苏时代全芯存储科技有限公司,江苏时代芯存半导体有限公司
- Current Assignee: 江苏时代全芯存储科技股份有限公司,江苏时代芯存半导体有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省淮安市淮阴区淮河东路188号
- Agency: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- Agent 徐金国
- Main IPC: H01L45/00
- IPC: H01L45/00

Abstract:
一种制造相变化记忆体的方法,包含:形成一结构,包含:底电极;介电层,位于底电极上方;隔离层,位于介电层上方,并具有开口贯穿隔离层;以及多晶硅层,位于开口内;形成第一孔洞及第二孔洞分别贯穿多晶硅层及介电层,第二孔洞位于第一孔洞的下方;形成保护层于第一孔洞及第二孔洞内及多晶硅层上方;进行化学机械研磨制程,或者进行干蚀刻制程及化学机械研磨制程,以移除保护层的一部分、隔离层及多晶硅层,并暴露介电层,以及留下第二孔洞内的保护层;移除第二孔洞内的保护层,以暴露第二孔洞;以及沉积加热材料至第二孔洞内。此方法可避开使用氢氧化四甲基铵溶液造成的危险,又可避免介电层中的孔洞损伤,使孔洞具有良好的尺寸稳定性。
Public/Granted literature
- CN109509835B 制造相变化记忆体的方法 Public/Granted day:2022-09-23
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IPC分类: