Invention Publication
CN109671697A 电可验证熔丝和熔丝验证方法
无效 - 撤回
- Patent Title: 电可验证熔丝和熔丝验证方法
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Application No.: CN201811208414.8Application Date: 2018-10-17
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Publication No.: CN109671697APublication Date: 2019-04-23
- Inventor: D.博纳特 , T.格罗斯 , F.黑林
- Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
- Applicant Address: 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-15号
- Assignee: 英飞凌科技股份有限公司
- Current Assignee: 英飞凌科技股份有限公司
- Current Assignee Address: 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-15号
- Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
- Agent 刘书航; 申屠伟进
- Priority: 15/785773 2017.10.17 US
- Main IPC: H01L23/525
- IPC: H01L23/525 ; H01L21/66
Abstract:
公开了电可验证熔丝和熔丝验证方法。半导体晶片包括具有由切块区域彼此分离开的多个管芯区域的半导体衬底。每个管芯区域包括：在半导体衬底上的一个或多个金属层；以及形成在一个或多个金属层中的至少一个中的多个熔丝结构。每个熔丝结构包括在第一熔丝端头和第二熔丝端头之间的熔丝区域。每个管芯区域还包括连接到熔丝结构中至少一些的第一熔丝端头的不同区域的第一接触对。可以沿着切块区域将晶片单体化成单独的管芯。还提供了对应的熔丝验证方法。
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IPC分类:
