一种foup盒用夹持装置、foup装置及固定方法
Abstract:
本发明提供了一种foup盒用夹持装置、foup装置及固定方法。本发明提供的一种foup盒用夹持装置包括:夹持安装板、导轨滑块机构、滑块连接板、夹持支撑板、夹持器、气缸连接板、气缸和气缸支撑板。通过本发明,可以对foup盒硅片进行侧面操作,解除了foup盒操作位置的限制,而且可靠性强,结构合理,调节方便。
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