Invention Grant
- Patent Title: 一种foup盒用夹持装置、foup装置及固定方法
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Application No.: CN201711455432.1Application Date: 2017-12-28
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Publication No.: CN109979845BPublication Date: 2021-04-13
- Inventor: 华正雨 , 赵治国 , 李学威 , 陈睿 , 周昊 , 于大元
- Applicant: 沈阳新松机器人自动化股份有限公司
- Applicant Address: 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
- Assignee: 沈阳新松机器人自动化股份有限公司
- Current Assignee: 沈阳新松半导体设备有限公司
- Current Assignee Address: 110169 辽宁省沈阳市浑南区飞云路15-1号
- Agency: 沈阳科苑专利商标代理有限公司
- Agent 许宗富
- Main IPC: H01L21/67
- IPC: H01L21/67 ; H01L21/687 ; H01L21/673
Abstract:
本发明提供了一种foup盒用夹持装置、foup装置及固定方法。本发明提供的一种foup盒用夹持装置包括：夹持安装板、导轨滑块机构、滑块连接板、夹持支撑板、夹持器、气缸连接板、气缸和气缸支撑板。通过本发明，可以对foup盒硅片进行侧面操作，解除了foup盒操作位置的限制，而且可靠性强，结构合理，调节方便。
Public/Granted literature
- CN109979845A 一种foup盒用夹持装置、foup装置及固定方法 Public/Granted day:2019-07-05
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IPC分类:
