一种基于石墨烯薄膜的应变检测传感器及其制备方法
Abstract:
本发明提供一种应变系数大、检测灵敏度高的基于石墨烯薄膜的应变检测传感器及其制备方法。应变检测传感器包括石墨烯薄膜,石墨烯薄膜包括两层石墨烯单层膜,两层石墨烯单层膜相互叠接。石墨烯单层膜上的石墨烯呈岛状分布。基于石墨烯薄膜的应变检测传感器的制备方法包括:在铜基底上生长石墨烯单层膜;将粘结剂涂覆于石墨烯单层膜表面,得到铜基底‑石墨烯单层膜‑粘结膜;将铜基底‑石墨烯单层膜‑粘结膜中的铜基底腐蚀,得到石墨烯单层膜‑粘结膜;用另一片铜基底‑石墨烯单层膜、将石墨烯单层膜‑粘结膜捞起,得到铜基底‑双层石墨烯薄膜‑粘结膜;最后将铜基底‑双层石墨烯薄膜‑粘结膜中的铜基底完全腐蚀,得到双层石墨烯薄膜‑粘结膜。
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