一种阵列基板的制作方法及阵列基板、显示面板
Abstract:
本申请公开了一种阵列基板的制作方法及阵列基板、显示面板,包括步骤:在衬底上形成第一金属层和第一绝缘层;沉积并图案化有源层,生成第一有源层和第二有源层;使用第二绝缘层的掩膜板图案化第一绝缘层,其中,所述第二绝缘层的掩膜板上对应设置有过孔图案,所述第二有源层形成在所述第二绝缘层的掩膜板的对应过孔图案的位置;沉积并图案化第二金属层,对应第一有源层的位置形成沟道;沉积第二绝缘层,使用所述第二绝缘层的掩膜板图案化绝缘层形成过孔;沉积并图案化透明电极层,使透明电极层通过过孔与第二金属层连接,两次使用所述第二绝缘层的掩模板,达到节省成本的效果,同时节省了制程。
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