一种晶圆级天线封装结构及制备方法
Abstract:
本发明公开了一种晶圆级天线封装结构及制备方法,其中封装结构包括:第一天线结构;第一导电结构设置于第一天线结构上与第一天线结构电连接;第一塑封层,塑封第一天线结构及第一导电结构;第二天线结构成型于第一塑封层上;第二导电结构设置于第二天线结构上,与第一天线结构电连接;第二塑封层塑封第二天线结构的预设边缘区域及第二导电结构,并预留有空腔;芯片设置于第二塑封层上并密封空腔;第三塑封层塑封芯片;第三导电结构贯穿于第三塑封层与第二导电结构电连接;重布线层形成于第三塑封层上,与第三导电结构及芯片的功能引出端电连接。本发明将天线和芯片进行集成封装,使得封装结构体积小,节约了成本,同时提升了天线收发信号的性能。
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