Invention Grant
- Patent Title: 工艺工具及在其内部拍摄图像数据的方法
-
Application No.: CN201911016170.8Application Date: 2019-10-24
-
Publication No.: CN112185843BPublication Date: 2024-05-10
- Inventor: 蔡子中 , 吴启明 , 金海光
- Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
- Applicant Address: 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
- Assignee: 台湾积体电路制造股份有限公司
- Current Assignee: 台湾积体电路制造股份有限公司
- Current Assignee Address: 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
- Agency: 北京派特恩知识产权代理有限公司
- Agent 薛恒; 王琳
- Main IPC: H01L21/67
- IPC: H01L21/67
Abstract:
在一些实施例中，本公开涉及一种工艺工具，所述工艺工具包括界定真空室的壳体。晶圆夹盘位于所述壳体中且载体晶圆位于所述晶圆夹盘上。相机集成在所述载体晶圆上以使所述相机面对所述壳体的顶部。所述相机被配置成以无线方式拍摄所述壳体内的所关注物体的图像。位于所述壳体外部的是无线接收器。所述无线接收器被配置成在所述真空室被密封的同时从所述相机接收所述图像。
Public/Granted literature
- CN112185843A 工艺工具及在其内部拍摄图像数据的方法 Public/Granted day:2021-01-05
Information query
IPC分类:
