Invention Publication
- Patent Title: 多手臂气液分离机械手臂
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Application No.: CN202111363978.0Application Date: 2021-11-17
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Publication No.: CN113808983APublication Date: 2021-12-17
- Inventor: 魏猛 , 张爽 , 刘伟
- Applicant: 沈阳芯达半导体设备有限公司
- Applicant Address: 辽宁省沈阳市苏家屯区桂竹香街68-E3号
- Assignee: 沈阳芯达半导体设备有限公司
- Current Assignee: 沈阳芯达半导体设备有限公司
- Current Assignee Address: 辽宁省沈阳市苏家屯区桂竹香街68-E3号
- Agency: 成都华复知识产权代理有限公司
- Agent 李俊
- Main IPC: H01L21/677
- IPC: H01L21/677 ; H01L21/683

Abstract:
本发明公开了多手臂气液分离机械手臂,包括机械手,所述机械手的活动端通过螺丝固定安装有气液分离仓,所述气液分离仓的内部安装有气液分离组件,所述气液分离组件包括气液分离箱、盖板、过滤机构、转动机构和进气槽,所述气液分离仓的内部安装有驱动组件,所述气液分离仓的底端通过螺丝固定安装有转动组件,所述转动组件的底端固定连接有转动座,所述转动座的底面分别安装有多手臂组件,通过在机械手臂的活动端上安装有气液分离仓,并通过内部的气液分离箱对吸盘吸入的溶液或者溶剂进行过滤处理,使真空泵和真空电磁阀能够产生真空的吸力同时,溶液和溶剂不会被误入吸进空泵和真空电磁阀而造成损坏。
Public/Granted literature
- CN113808983B 多手臂气液分离机械手臂 Public/Granted day:2022-01-18
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IPC分类: