本发明实施例提供一种多层膜基板、弹性波器件、模块和多层膜基板的制造方法。所述多层膜基板包括：压电基板；第一绝缘膜，形成在所述压电基板上；支承基板；第二绝缘膜，形成在所述支承基板上；以及接合层，形成于所述第一绝缘膜与所述第二绝缘膜之间；其中，在弹性波的波长为λ的情况下，所述第一绝缘膜、所述第二绝缘膜、所述接合层的厚度之和大于0.06λ且小于0.075λ。本实施例通过压电基板与支承基板将第一绝缘膜、第二绝缘膜、接合层作为中间层而相互接合，因此，能够提高压电基板与支承基板的接合性。