Invention Publication
- Patent Title: 一种基于玻璃衬底的SPADs图像传感器及其制造方法
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Application No.: CN202411427388.3Application Date: 2024-10-14
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Publication No.: CN118969810APublication Date: 2024-11-15
- Inventor: 苗渊浩 , 亨利·H·阿达姆松
- Applicant: 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
- Applicant Address: 广东省广州市广州开发区开源大道136号A栋
- Assignee: 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
- Current Assignee: 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
- Current Assignee Address: 广东省广州市广州开发区开源大道136号A栋
- Agency: 广州三环专利商标代理有限公司
- Agent 吕金金
- Main IPC: H01L27/146
- IPC: H01L27/146 ; H01L31/0216 ; H01L31/0304 ; H01L31/0392 ; H01L31/107

Abstract:
本申请属于半导体工艺技术领域,公开了一种基于玻璃衬底的SPADs图像传感器及其制造方法,该图像传感器包括:依次叠加的玻璃衬底、氧化硅层、氧化铝层、P型重掺杂砷化镓层、本征砷化镓可见光传感层、本征锗系短波红外传感层、P型电荷层、多雪崩层、N型重掺杂锗层和钝化层;以及多个形状相同,并以预设间隔分布的矩形凹槽;矩形凹槽依次贯穿N型重掺杂锗层、多雪崩层、P型电荷层、本征锗系短波红外传感层和本征砷化镓可见光传感层;钝化层均匀覆盖在N型重掺杂锗层和各矩形凹槽的内壁上。本申请能够将SPADs图像传感器的光谱响应范围扩展到390nm‑1700nm。
Public/Granted literature
- CN118969810B 一种基于玻璃衬底的SPADs图像传感器及其制造方法 Public/Granted day:2025-02-07
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IPC分类: