一种基于玻璃衬底的SPADs图像传感器及其制造方法
Abstract:
本申请属于半导体工艺技术领域,公开了一种基于玻璃衬底的SPADs图像传感器及其制造方法,该图像传感器包括:依次叠加的玻璃衬底、氧化硅层、氧化铝层、P型重掺杂砷化镓层、本征砷化镓可见光传感层、本征锗系短波红外传感层、P型电荷层、多雪崩层、N型重掺杂锗层和钝化层;以及多个形状相同,并以预设间隔分布的矩形凹槽;矩形凹槽依次贯穿N型重掺杂锗层、多雪崩层、P型电荷层、本征锗系短波红外传感层和本征砷化镓可见光传感层;钝化层均匀覆盖在N型重掺杂锗层和各矩形凹槽的内壁上。本申请能够将SPADs图像传感器的光谱响应范围扩展到390nm‑1700nm。
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