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KR1020180010366A 아산화질소 함유 기체 혼합물로부터 아산화질소의 회수 및 정제공정 有权
从含一氧化二氮的气体混合物中回收和纯化一氧化二氮的方法

아산화질소 함유 기체 혼합물로부터 아산화질소의 회수 및 정제공정
Abstract:
본발명은아산화질소를포함하는기체혼합물또는배기가스를공급하여기체혼합물내 함유된미세액적상태의수분, 미세액적상태의유분및 미세입자불순물로이루어지는군으로부터선택되는 1 종이상을제거하는전처리공정; 상기전처리공정을거친기체혼합물로부터아산화질소분리성능이우수한분리막을사용하여아산화질소를질소또는/및산소로부터선택적으로분리하여농축하는막분리공정; 상기막분리공정을거친기체혼합물에함유된이산화탄소, 이산화질소, 수증기및 유기탄화수소로이루어지는군으로부터선택되는 1 종이상의불순물을흡착에의해제거하는흡착공정; 및상기흡착공정을거친기체혼합물을압축및 냉각하고증류로분리하여고순도아산화질소를회수하는증류공정;을포함하는아산화질소의회수및 정제공정을제공한다. 본발명에따른아산화질소의회수및 정제공정에의하여아산화질소, 아디프산, 질산및 카프로락탐생산공정의배기가스로부터이산화탄소에비하여지구온난화지수(GWP)가 310배높은아산화질소를회수하여온실가스의저감효과를얻을수 있다. 또한, 본발명에따른아산화질소의회수및 정제공정에의하여아산화질소, 아디프산, 질산및 카프로락탐생산공정의배기가스로부터반도체, LCD, OLED 공정용등으로사용할수 있는고순도(99.999 부피% 이상)의아산화질소를고회수율(90 % 이상)로회수및 정제할수 있다.
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