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公开(公告)号:JP2021007140A
公开(公告)日:2021-01-21
申请号:JP2019121169
申请日:2019-06-28
Applicant: 日新イオン機器株式会社 , ヒメジ理化株式会社
IPC: H05B3/02 , H01L21/265
Abstract: 【課題】真空チャンバ内にヒータ30を差し込みつつ、電熱線32の光により端子部33が加熱されてしまうことを抑制する。 【解決手段】基板Wを加熱する加熱装置であって、基板Wを収容する真空チャンバS2と、真空チャンバS2の内部に差し込まれたヒータ30とを備え、ヒータ30が、基板Wが配置される真空チャンバS2の壁部を貫通して設けられた管状体31と、管状体31の内部に収容されるとともに、少なくとも一部が真空チャンバS2内に配置された電熱線32と、電熱線32が接続された端子部33とを有し、端子部33を、真空チャンバS2の外部に配置した。 【選択図】図3
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公开(公告)号:JP2006269307A
公开(公告)日:2006-10-05
申请号:JP2005087488
申请日:2005-03-25
Applicant: Himeji Rika Kk , Lamp Technology Kk , ヒメジ理化株式会社 , ランプテクノロジー株式会社
Inventor: ISHIHARA SHOJI , SHIMAZU TAKESHIGE
IPC: H01J61/073
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture an electrode of a discharge tube at low cost with ease by connecting an electrode tip and a base material together without using a brazing material.
SOLUTION: The electrode of discharge tube comprises an electrode tip 14 and a base metal 13, where the electrode tip 14 is made by an easy-electron emission material being mixed into a porous sintered body which is formed at a sharp angle on a top 14b and is made of a high melting point metal, a holder 13b in a shape of a cylinder is formed on the top of the base metal 13, and the top side of the holder 13b is open. The electrode tip 14 is inserted into the holder 13b, scraped/fitted on/to the holder 13b, and attached to the top of the base metal 13 via the holder 13b. On the other hand, a holder 151 is tapered and inserted into the body 141a of an electrode tip 121 to link the base of the holder 151 to a base metal 131.
COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPITAbstract translation: 要解决的问题:通过在不使用钎焊材料的情况下将电极头和基材连接在一起,可以容易地以低成本制造放电管的电极。 解决方案:放电管的电极包括电极头14和贱金属13,其中电极头14由容易电子发射的材料制成,该多孔烧结体形成为锐角的多孔烧结体 顶部14b由高熔点金属制成,在基体金属13的顶部形成有圆柱形的保持器13b,并且保持器13b的顶侧是敞开的。 电极头14插入保持器13b中,刮擦/装配在保持器13b上,并通过保持器13b附接到母金属13的顶部。 另一方面,保持器151是锥形的,并且插入到电极头121的主体141a中,以将保持器151的基部连接到基底金属131.版权所有(C)2007,JPO&INPIT
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公开(公告)号:JP2005166381A
公开(公告)日:2005-06-23
申请号:JP2003402339
申请日:2003-12-02
Applicant: Himeji Rika Kk , ヒメジ理化株式会社
Inventor: NAKATSUKA KAZUYA , AKASABI TSUTOMU
IPC: H01J61/073
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cathode structure enabled to quickly release heat at the tip of a cathode of a gas discharge lamp and to operate a gas discharge lamp stably for a long period of time.
SOLUTION: A cathode (14) is formed by jointing a cathode main body (140) made of porous high-melting point metal material containing an easily electron-emitting matter to a base body (141) made of high-melting point metal material so that its tip part protrudes further than the base body, and the tip part of the cathode is formed in a cusp shape. Indented heat-radiating parts (142, 145) are formed in a region except an arc generating point of the cathode main body on the surface of the tip part of the cathode, and heat at the tip of the cathode main body is made released in a discharge gas atmosphere. A heat transfer block (146) made of a high melting point material may be included in the cathode main body. Further, a heat dam (143) may be provided behind a heat-radiating part of the cathode.
COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPIAbstract translation: 要解决的问题:提供能够在气体放电灯的阴极的尖端处快速释放热量并且长时间稳定地操作气体放电灯的阴极结构。 解决方案:阴极(14)通过将由容易发生电子发射物质的多孔高熔点金属材料制成的阴极主体(140)与由高熔点形成的基体(141)接合而形成 金属材料使得其尖端部分比基体突出,并且阴极的尖端部分形成为尖端形状。 在阴极主体的表面的阴极主体的电弧产生点以外的区域形成有凹凸的散热部(142,145),阴极主体的顶端的热量被释放 放电气体气氛。 由高熔点材料制成的传热块(146)可以包括在阴极主体中。 此外,可以在阴极的散热部分的后面设置热坝(143)。 版权所有(C)2005,JPO&NCIPI
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公开(公告)号:JP2015038815A
公开(公告)日:2015-02-26
申请号:JP2012233405
申请日:2012-10-23
Applicant: ヒメジ理化株式会社 , Himeji Rika Kk
Inventor: MARUYAMA TAKESHI
IPC: H05B3/00
Abstract: 【課題】この発明は、加熱光源からの加熱光を加熱対象部品に集光させる集光部材の反射面が、高温雰囲気により劣化することを防止し、反射効率が長期使用においても低下することなく、加熱能力を長期に亘って維持できる集光加熱装置を提供するものである。【解決手段】加熱対象部品4を加熱するための加熱光を発生する加熱光源2と、この加熱光源からの加熱光を上記加熱対象部品に集光させる集光部材3とを具備し、上記集光部材3は、石英ガラスから構成され上記加熱光源を囲むようにこれに間隔を持って対向配置された断面湾曲形状の集光部311を有する集光基体31と、上記集光部の反加熱光源側の外周面に反射材をコーティングして形成された反射面321とを有しており、反射面は、集光部外周面と接合し外部に露出していない。【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种能够长时间保持加热能力而不降低反射效率的聚光加热装置,即使在长时间使用时,通过防止冷凝来自加热的加热光的聚光部件的反射面 加热对象成分的光源不会被高温气氛恶化。解决方案:聚光加热装置包括:加热光源2,其产生用于加热加热物体部件4的加热光; 以及用于将来自加热光源的加热光聚焦到加热对象部件的聚光部件2。 聚光构件3包括:聚光基板31,其包括由石英玻璃形成的横截面为弯曲形状的聚光部311,并且与发热光源间隔开地相对设置,以便包围 加热光源; 以及通过用反射材料涂覆与加热光源相对的聚光部的外周面而形成的反射面321。 反射面与聚光部的外周面接合,不会露出在外部。
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公开(公告)号:JP2006114301A
公开(公告)日:2006-04-27
申请号:JP2004299623
申请日:2004-10-14
Applicant: Himeji Rika Kk , Lamp Technology Kk , ヒメジ理化株式会社 , ランプテクノロジー株式会社
Inventor: ISHIHARA SHOJI , AKASABI TSUTOMU
IPC: H01J9/04
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To heighten accuracy of processing a cathode, without deteriorating electron emitting performance of the cathode, and to prevent heat local accumulation in the cathode.
SOLUTION: A housing chamber 32, the tip side of which is open, is provided at the tip part of a cathode body 31, at least an easily emissive material powder 33a which has been powdered is filled at the bottom side of the housing chamber 32, tungsten powder or granular tungsten sintered body 34a is filled at the tip side of the housing chamber 32, they are heated at a temperature higher than the fusing temperature of the easily emissive material, and a porous sintered body 34 impregnated with the melt of the easily emissive material powder 33a is formed on the tip side.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPIAbstract translation: 要解决的问题:提高阴极处理的精度,而不会恶化阴极的电子发射性能,并且防止阴极中的局部热积聚。 解决方案:在阴极体31的前端部设置容纳室32,其顶端侧开放,至少在粉末状的容易发射的材料粉末33a填充在阴极体31的底部。 容纳室32,钨粉末或粒状钨烧结体34a填充在容纳室32的前端侧,在比易于发光的材料的熔合温度高的温度下加热,并且浸渍有多孔烧结体34 容易发光材料粉末33a的熔融形成在尖端侧。 版权所有(C)2006,JPO&NCIPI
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公开(公告)号:JP2005166382A
公开(公告)日:2005-06-23
申请号:JP2003402347
申请日:2003-12-02
Applicant: Himeji Rika Kk , ヒメジ理化株式会社
Inventor: NAKATSUKA KAZUYA , AKASABI TSUTOMU
IPC: H01J61/06 , H01J61/073 , H01J61/16
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To improve stability of a light output, in an extra-high pressure discharge lamp of a type made to light after transferring from glow discharge to arc discharge.
SOLUTION: A cathode is constituted by coupling a cathode main body made of porous high-melting point metal material made to contain an easily electron emitting matter with a base body made of a high-melting point metal material so as its tip to protrude further than the base body. A tip part of the cathode is formed into a cusp shape with a solid angle of 50° or more, and a glow discharge coil is fitted to a body of the cathode from outside. Pressure of rare gas for glow discharge start-up in discharge gas is preferred to be 101×10
3 Pa(760 torr) or less and a solid angle of the tip of the cathode is preferred to be 50° or more.
COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPIAbstract translation: 要解决的问题:为了提高在从辉光放电转移到电弧放电之后的光的类型的超高压放电灯中的光输出的稳定性。 解决方案:阴极通过将由容纳电子发射物质制成的多孔高熔点金属材料制成的阴极主体与由高熔点金属材料制成的基体以其尖端耦合而构成 比基体突出。 阴极的尖端部分形成为具有50°或更大立体角的尖点形状,并且辉光放电线圈从外部装配到阴极体。 放电气体中的辉光放电启动用稀有气体的压力优选为101×10
3Pa(760torr)以下,阴极前端的立体角优选为50 或者更多。 版权所有(C)2005,JPO&NCIPI -
公开(公告)号:JP2018006041A
公开(公告)日:2018-01-11
申请号:JP2016127871
申请日:2016-06-28
IPC: H05B3/44
Abstract: 【課題】 簡素な構成でありながら加熱効率のよい管状ヒーター及びこれを備えた加熱装置を提供すること。 【解決手段】 発熱体と、この発熱体を内部に収容する管状体とからなる。発熱体は、蛇行状の電流路20を有する面状発熱体2である。管状体は、断面略長方形状を呈する石英管3である。その長辺を含む面は面状発熱体2の表面に対向する。 【選択図】 図1
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公开(公告)号:JP5261646B2
公开(公告)日:2013-08-14
申请号:JP2009162040
申请日:2009-07-08
Applicant: 独立行政法人産業技術総合研究所 , ヒメジ理化株式会社 , 株式会社トリマティス , 大日精化工業株式会社
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