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公开(公告)号：CN110546746A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201880025788.8
申请日：2018-04-19
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: H01L21/56 , C09J5/00 , C09J179/08 , H01L21/304 , H01L23/12
Abstract: 本发明的目的是提供半导体衬底的制造方法等，所述制造方法在研磨中半导体晶圆不会脱落等，而且得到的半导体衬底没有开裂或缺口等。为了解决上述课题，半导体衬底的制造方法包含如下工序：聚酰亚胺层形成工序，在支撑材料上形成聚酰亚胺层；晶圆粘贴工序，介由前述聚酰亚胺层而使前述支撑材料和半导体晶圆的电路形成面贴合；晶圆研磨工序，对粘贴有前述支撑材料的前述半导体晶圆的电路非形成面进行研磨；支撑材料剥离工序，从前述聚酰亚胺层剥离前述支撑材料；以及聚酰亚胺层剥离工序，从前述半导体晶圆剥离前述聚酰亚胺层。前述聚酰亚胺层包含聚酰亚胺，所述聚酰亚胺包含二苯甲酮骨架、以及源于具有脂肪族链的二胺的结构，所述聚酰亚胺的胺当量为4000～20000。
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公开(公告)号：CN103154047B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201180048475.2
申请日：2011-10-04
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: C08F10/00 , C08F4/65 , C08F8/00 , C08F232/00
CPC classification number: C08F236/20 , C08F8/00 , C08F210/18 , C08F2810/20 , C08F210/00 , C08F4/64048 , C08F210/16 , C08F210/14 , C08F2500/25 , C08F2500/17
Abstract: 本发明的环状烯烃共聚物包含：(A)下述通式(I)所示的1种以上的来源于烯烃的重复单元，(B)下述通式(III)所示的来源于环状非共轭二烯的重复单元，以及(C)下述通式(V)所示的1种以上的来源于环状烯烃的重复单元，在将重复单元的合计摩尔数设为100摩尔%的情况下，包含19摩尔%～36摩尔%的来源于环状非共轭二烯的重复单元(B)。
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公开(公告)号：CN118891583A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202380027893.6
申请日：2023-03-16
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/64 , C09J7/38 , C09J201/00
Abstract: 本发明提供一种能够抑制将防护膜组件贴附于光掩模时的滞留气泡数量的带粘着层的防护膜组件框的制造方法。本公开的带粘着层的防护膜组件框的制造方法具备如下工序：准备框前体的工序，上述框前体具备防护膜组件框(11)和形成于上述防护膜组件框(12)的作为粘着层(12)的前体的前体层；在上述前体层的表面配置玻璃化转变温度高于下述工程的加热温度的保护膜(21)，以形成带保护膜的框前体；以及，对上述带保护膜的框前体进行加热，由上述前体层形成表面得到平坦化的上述粘着层(12)。
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公开(公告)号：CN113677722A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202080025442.5
申请日：2020-03-27
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: C08F290/12 , C09J4/02 , C09J11/06 , C09J133/00 , G03F1/62 , C09J7/29 , C09J7/38
Abstract: 本发明的课题在于提供一种溶液稳定性高的粘着剂溶液，且通过使用该粘着剂溶液而提供一种残胶少、释气的产生得到抑制的防护膜组件。本发明是一种防护膜组件，所述防护膜组件具有防护膜框架、铺设于防护膜框架的一端面的防护膜、以及设置于防护膜框架的另一端面的粘着剂层，所述防护膜组件中，粘着剂层包含(甲基)丙烯酸系粘着剂，所述(甲基)丙烯酸系粘着剂为包含聚合物(A)及自由基聚合引发剂(B)的树脂组合物的固化物，聚合物(A)具有源自(甲基)丙烯酸酯的结构单元、以及包含含碳‑碳多重键的基团的侧链。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118020023A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202280061342.7
申请日：2022-09-12
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明的防护膜组件具备防护膜组件框、支撑于上述防护膜组件框的一个端面的防护膜、以及设于上述防护膜组件框的另一个端面的粘着层，并且满足下述式(1)。式(1)：[A60℃]≥4.0gf/mm2。式(1)中，[A60℃]表示将防护膜组件制成试验用层叠体时的第一剥离强度。试验用层叠体是通过将防护膜组件以粘着层与石英玻璃基板的表面接触的方式载置在石英玻璃基板上、并且在预定的条件下将载荷保持在防护膜组件上而获得的。第一剥离强度表示在预定的条件下，使用标准型万能试验机将试验用层叠体所含的防护膜组件从上述石英玻璃基板剥离时所需要的每单位粘接面积的载荷。
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公开(公告)号：CN117916661A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202280060629.8
申请日：2022-09-12
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/62 , C09J7/38 , C09J133/04
Abstract: 本发明的目的在于提供一种更不易产生释气的防护膜组件。本公开的防护膜组件(10)具备：防护膜组件框架(14)；防护膜(12)，其被支撑于所述防护膜组件框架(14)的一个端面；以及粘着层(15)，其设置于所述防护膜组件框架(14)的另一个端面。所述粘着层(15)的由下述式(A)表示的膨润度为200％以下。式(A)：[(从所述粘着层采集的10mg试验片的浸渍后质量)/10mg]×100。所述式(A)中，所述浸渍后质量表示使所述试验片在毛细管柱GC浓度为99.0％以上的癸烷溶液10ml中浸渍6小时后的所述试验片的质量。
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公开(公告)号：CN115136072A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202180015498.7
申请日：2021-03-24
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本公开的目的在于提供一种具有平坦性良好的粘着剂层的防护膜组件、及用于再现性良好地制造该防护膜组件的方法。所述目的通过如下的防护膜组件来达成，所述防护膜组件具有：防护膜组件框、铺设于防护膜组件框的一端面的防护膜以及设置于防护膜组件框的另一端面的粘着剂层，粘着剂层包含树脂组合物的固化物，所述树脂组合物包含固化性聚合物(A)、固化剂(B1)以及固化剂(B2)，固化剂(B1)及固化剂(B2)为固化条件不同的固化剂。
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公开(公告)号：CN109790272B
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN201780062015.2
申请日：2017-10-10
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明的光学材料用聚合性组合物包含：聚合物(a)，其由选自下述通式(1)～(4)表示的化合物中的1种以上化合物组成；化合物(b)，其通过感受环境的变化，吸光特性发生变化；和聚合反应性化合物(c)。
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